판매용 중고 ULTRATECH Spectrum 3 #9243698

ULTRATECH Spectrum 3은 고급 리소그래피 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼에 미세한 회로와 기하학적 모양을 만드는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 단일 및 이중 패턴 프로세스에서 뛰어난 정확도, 속도 및 신뢰성을 제공합니다. Spectrum 3의 5 축 동작 제어 장비는 사이클 시간을 줄이고 균일 성과 정확도를 향상시키는 데 도움이됩니다. 이 제품은 3D 등록 플랫폼 위에 웨이퍼를 배치할 때 마이크론 이하의 정확도를 제공하는 통합 웨이퍼 (wafer) 정렬 시스템을 갖추고 있어 뛰어난 웨이퍼 오버레이 (wafer overlay) 를 보장합니다. 이중 축 스크리버 헤드 (dual-axis scriber head) 는 이미지를 리토 필름에 정확하게 재현하도록 보장하며, 스캐닝 유닛은 최대 30um/s의 속도로 각 다이 (die) 또는 박스형 스캔 패턴으로 균등하게 노출시킵니다. ULTRATECH Spectrum 3은 프로세스 다양성 및 확장성을 위해 설계되었으며, 이를 통해 다양한 레티클 크기와 슬릿 (slit) 디자인과 함께 사용할 수 있습니다. 최고 수준의 기계적 정밀성과 반복성을 제공하는 고성능 스테퍼 모터 (stepper motor) 로 구동됩니다. 이 기계는 또한 조명, 수치 조리개, 초점 제어 (focus control) 의 최적화를 통해 리소그래피 성능을 향상시키는 고급 광학 플랫폼을 갖추고 있습니다. 진동 또는 온도로 인한 석판 공정의 저하를 최소화하기 위해 통합 진동 격리 (integrated vbration isolation) 기술을 통합합니다. Spectrum 3의 전자 공구는 기본적으로 photoresist 코팅 정확도를 최대화하도록 설계되었습니다. 디지털 디스플레이 (Digital Display), 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 컨트롤러 (Controller) 등 다양한 제어 옵션을 제공합니다. 또한 ULTRATECH Spectrum 3은 원격 진단 기능과 모델의 실시간 피드백을 제공하는 CEL 자동 장애 감지 (Automated Fault Detection) 자산 등 다양한 이미지 분석 도구를 제공합니다. 전반적으로, 스펙트럼 3 (Spectrum 3) 은 강력하고 효과적인 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 리소그래피 프로세스에서 뛰어난 기능을 보장하도록 설계되었습니다. 이 제품은 전례없는 정확성, 속도, 재현성을 제공하며, 생산 프로세스를 간소화하면서 탁월한 품질 제어를 제공하도록 설계되었습니다.