판매용 중고 ULTRATECH Spectrum 3 #9128729

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ULTRATECH Spectrum 3
판매
ID: 9128729
웨이퍼 크기: 8"
Wafer stepper, 8".
ULTRATECH Spectrum 3은 최첨단 웨이퍼 스테퍼로, 라운드 웨이퍼에서 세밀한 미세 전자 회로를 생산할 수있는 고급 기계입니다. 스펙트럼 3 (Spectrum 3) 은 고급 사진 분석 시스템의 스펙트럼 라인 (Spectra line of advanced photolithography systems) 의 일부로 탁월한 자동화 및 사용자 제어 수준을 제공하면서 고급 정밀도와 정확성을 제공합니다. ULTRATECH Spectrum 3은 최고 2500 미크론/초의 클래스 선행 스캐닝 속도를 특징으로하며, 기존 시스템에 필요한 시간 중 일부에서 복잡한 회로를 만들 수 있습니다. 특허를받은 이 장비의 펄스 튜닝 기술 (Pulse Tuning Technology) 은 스캔하는 동안 최소 열 교란을 보장하여 웨이퍼 전체에 이미지를 정확하게 등록합니다. 스펙트럼 3 (Spectrum 3) 은 산업 표준 반복 조건을 지원하여 중금속 및 밀도 높은 에치 저항을 포함한 광범위한 광학 재료로 작동 할 수 있습니다. 탁월한 자동화 수준을 제공하는 ULTRATECH Spectrum 3은 단일 또는 2 노출 모드에서 사용할 수 있습니다. 2 노출 모드에서는 poly-lithographic 또는 steped 노출 패턴으로 작동 할 수 있습니다. 또한, 컴퓨터 제어 자동 초점 조정이 특징이며, 웨이퍼 컨투어 불균일 성 (Wafer Contour Non-Uniformity) 으로 인한 왜곡을 최소화하면서 웨이퍼 전체에 걸쳐 최적화된 초점을 보장합니다. Spectrum 3은 최고의 유연성과 확장성을 위해 설계되었습니다. 웨이퍼로 사전 적재 할 수있는 8 개의 카세트가있는 통합, 모듈 식 로봇 시스템이 있습니다. 따라서 수동으로 로드하거나 wafer 처리를 수행하지 않고, 연속적이고 자동화된 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 무인 모드로 작동 할 수 있으므로 인건비를 크게 줄일 수 있습니다. 또한, 빠른 변경 카세트를 사용하면 단일 머신에 여러 웨이퍼 크기를 사용할 수 있습니다. 각 photolithography 챔버에 대한 매개변수를 개별적으로 프로그래밍할 수 있으므로 ULTRATECH Spectrum 3이 가장 까다로운 공차 요구사항을 충족시킬 수 있습니다. 이 도구는 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (예: 설정 및 작업 옵션 지원) 를 제공합니다. ULTRATECH에서, 가장 진보 된 photolithography 시스템은 방정식의 일부일뿐입니다. EMC 는 탁월한 수준의 서비스/지원을 제공하여 모든 자산이 최고의 성능을 발휘하고 있습니다. ULTRATECH 엔지니어 및 서비스 엔지니어 네트워크는 연중무휴 24시간 제공되며, 설치, 유지 보수, 수리 및 교육에 대한 지원을 제공합니다. 이 모든 것을 통해 고객은 모든 사진 해설을 위해 ULTRATECH 시스템에 자신있게 의존할 수 있습니다.
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