판매용 중고 ULTRATECH Saturn #9089260

ULTRATECH Saturn은 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 직경이 최대 8 인치인 웨이퍼에 집적회로 및 기타 구조를 자동으로, 정확하게 정렬하고 노출하도록 설계되었습니다. 통합 온도 제어 (Temperature Control) 기술은 깨끗하고 안정적인 환경을 유지하며, 매우 정확한 정렬 및 프로세스 제어를 지원합니다. 이 장비는 특히 초소형 회선 너비, 극한의 화면 비율, 심해 (Deep-Ultra-Violet) 노출과 같은 고급 제작 기술에 적합합니다. 이 시스템은 고급형, 견고성 강화 (Rugged), 내구성이 뛰어난 아키텍처로 구성되어 장기간의 무중단 운영을 보장합니다. 또한, Saturn은 전체 도메인 광학 이미징 장치, 공동 처리 아키텍처, 최고 수준의 차원 균일성 및 고정밀 오버레이 제어를 위한 통합 기술 등 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 머신에 통합 된 UV 광원은 가장 높은 노출 정확도와 뛰어난 성능을 위해 특별히 설계되었습니다. 또한, 다양한 파장 (wavength) 과 에너지 (energy) 를 지원하며 다양한 프로세스와 애플리케이션에 쉽게 구성할 수 있습니다. ULTRATECH Saturn은 조명과 스테퍼 메커니즘을 정확하게 움직이는 정교한 서보 툴로 제작되었습니다. 광학 자산의 X 축과 Y 축에는 고해상도 인코더가 있어 웨이퍼의 고정밀 정렬이 가능합니다. 또한, 프리미엄 스테퍼 모터는 노출 프로세스의 제어 수동/반자동 실행을 허용합니다. 또한 Saturn은 독점 이미지 처리 기술을 사용하여 정렬 정확도를 향상시킵니다. 이 제품은 신속하고 정확한 실시간 정렬 조정을 위한 통합 제어 기능을 갖춘 정교한 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 제공하며 수동 (Manual) 및 자동 (Automatic) 처리를 모두 지원합니다. 전반적으로, ULTRATECH Saturn은 강력하고 정교한 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 정교한 제조 공정에 대해 정확하고 정확한 결과를 제공하도록 잘 설계되었습니다. 고급형, 견고성 강화 (Rugged) 아키텍처, 통합형 고급 기능을 갖춘 이 제품은 효율적이고 편리한 웨이퍼 프로세싱을 위한 최적의 솔루션입니다.