판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9378645

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e는 ULTRATECH가 개발 한 최첨단 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 경쟁사 스테퍼 (stepper) 솔루션보다 균일성과 정확성을 높여 웨이퍼를 움직이는 고정밀도, 자동화된 스테이지가 특징입니다. ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E는 매우 정확한 Zeiss Carl Zeiss Optics Beam Path 장비를 사용하여 웨이퍼에 정확한 노출 패턴을 제공합니다. 광학 "시스템 '은 고출력" 레이저', 조명 "렌즈 '및 투영" 렌즈' 로 구성 되어 "마스크 '판 에서" 웨이퍼' 로 "패턴 '을 포착 한다. Saturn Spectrum 3e에는 운영자가 원하는 작업 요구 사항에 맞게 초점 설정을 최적화할 수 있도록 하는 고급 'ASCS (Autofocus Sequence Control)' 장치가 있습니다. ASCS 머신은 또한 고품질 이미지를 보장하기 위해 레이저의 강도와 초점을 조정하는 매크로 (macro) 및 마이크로 렌즈 (micro lens) 프로파일을 제공합니다. SATURN SPECTRUM 3 E에는 25W 솔리드 스테이트 레이저 (Solid State Laser) 가 장착되어 있어 리코트 시간을 줄이고 웨이퍼에 기록된 패턴 품질을 향상시킵니다. 이 혁신적인 레이저 도구는 뛰어난 에지 (edge) 음성과 뛰어난 초점 깊이로 작은 기능 크기를 스캔할 수 있습니다. ULTRATECH Saturn Spectrum 3e에는 완전히 자동화된 프로세스 제어 모듈이 있으며, 이 모듈을 통해 운영자는 프로세스 내 변형을 모니터링하고 예측 진단 기능을 제공할 수 있습니다. 또한 이 모듈을 사용하여 운영자는 스텝퍼의 설정을 수동으로 변경하지 않고도 재료 및 프로세스 레시피를 기반으로 각 웨이퍼 (wafer) 에 대한 매개변수를 조정할 수 있습니다. 스테퍼의 닫힌 루프 최적화 기능은 보다 정확한 패턴화를 가능하게 합니다. ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E 설계는 다양한 반도체 회로 패턴 응용 프로그램에 대한 높은 처리량과 정확성을 제공합니다. 이 스테퍼는 photolithography, ion milling, physical vapor deposition 등의 프로세스에 빠르고, 안정적이며, 비용 효율적인 성능을 제공합니다. 광학 및 열 안정성 재료와 함께 작동하도록 설계되었습니다. Saturn Spectrum 3e에는 프로그래밍 가능한 오류 수정 도구, 특수 노출 마스크, 고급 자동화 기능, 자동 조정 및 자동 정렬 기능, 다양한 인라인 (in-line) 광 및 스캔 기술을 지원하는 정교한 도량형 제품군 등 다양한 옵션이 제공됩니다. 결론적으로, SATURN SPECTRUM 3 E는 최첨단, 고정밀 웨이퍼 스테퍼로, 광범위한 기판 재료를 갖춘 패턴 처리 프로세스에 획기적인 성능을 제공합니다. 프로세스 변형을 줄이고, 신뢰할 수 있는 프로세스 성능을 제공하는 데 도움이 되는 매우 정확하고 자동화된 기능을 갖추고 있습니다. 반도체 업계의 정밀 패턴 응용 분야에 이상적인 도구입니다.