판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9293525

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e
ID: 9293525
빈티지: 2004
Stepper 2004 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3e는 정밀 엔지니어링 마이크로 전자 제품의 고정밀 생산을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 마이크로전자제품산업 (micro electronic product industry) 의 광범위한 요구 사항을 충족하도록 설계된 첨단 로봇 기능을 갖춘 완전 자동화된 장비다. ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E는 웨이퍼에서 최대 4 ~ 1mm 크기의 여러 제품을 생산할 수 있습니다. 토성 스펙트럼 3e (Saturn Spectrum 3e) 는 독점적 인 고해상도 노출 시스템을 사용하여 석판 위치를 정확하게 찾고, 포토 저항의 대상 부분을 놀라운 정확도로 노출 및 제거하는 과정을 자동화합니다. 또한, 최고 수준의 반복 성과 성능을 보장하는 로봇 (robotic) 기능이 장착되어 있습니다. 예를 들어, 3e는 동작 6축 (6축) 을 사용하여 추가 정렬 공구가 필요 없이 조각을 정확하게 선택하고 배치할 수 있습니다. 또한, 3e는 온보드 비전 유닛 (on-board vision unit) 을 사용하여 모든 움직임을 검증하므로 진동 및 기타 환경 요인으로 인한 불일치를 제거합니다. 3e는 또한 매우 민감한 도량형 머신 (metrology machine) 을 통합하여 정확성과 신뢰성으로 프로세스 매개변수를 신속하게 확인할 수 있습니다. 여기에는 치수 도량형 (dimensional metrology), 표면 도량형 (surface metrology) 및 마이크로 전자 제품의 제작에서 높은 품질을 보장하는 자동 검사 기능이 포함됩니다. 3e 는 빠르고 정확할 뿐만 아니라, 하이엔드 (High-End) 기능도 매우 경제적입니다. 즉, 높은 처리량을 통해 다운타임이 줄어들고 처리량이 증가하므로 ROI (투자 수익) 가 더 커집니다. 또한 모듈식 설계 (modular design) 를 통해 다양한 생산 라인에 쉽게 통합할 수 있으며, 경쟁력 있는 가격의 장치 비용을 통해 생산 비용을 전체적으로 절감할 수 있습니다. 마지막으로, 3e는 안전과 신뢰성을 고려하여 설계되었습니다. 지능형 플라즈마 컨버터 (Plasma Converter) 도구는 낮은 LCG (Ozone Concentration Generator) 를 사용하여 다운타임을 크게 줄이는 반면, 최첨단 수동화 자산은 안전한 운영을 보장하여 3e가 가장 까다로운 어플리케이션을 자신있게 처리 할 수 있습니다. 요약하면, SATURN SPECTRUM 3 E는 탁월한 정확도, 속도 및 비용 이점을 제공하는 혁신적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 안정적이고 경제적으로, 정밀 엔지니어링 마이크로 전자 제품의 생산에 완벽한 선택입니다.
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