판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9280618

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e
ID: 9280618
빈티지: 2004
Stepper 2004 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3e는 정밀 리소그래피 투영 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 스테핑 장비입니다. 3 개의 고효율 렌즈 위상 배열이 장착 된 멀티 스테이지 시스템으로, 0.2 미크론 명목으로 격추됩니다. 이 장치는 독립 조명 소스 (independent lumination source) 의 배열을 특징으로하며, 장치를 사용하여 모서리 결함을 감지하거나, 잘못 정렬하거나, 빠르고 정확하게 겹칠 수 있습니다. ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E에는 유연한 구성이 있으며 고해상도 이미징을 위해 옵션 4 렌즈가 포함되어 있습니다. 또한 특허 출원 중인 샘플 교환 챔버 (Sample Exchange Chamber) 가 포함되어 있어 샘플을 빠르고 원활하게 전환할 수 있습니다. 이 기계는 내구성이 높으며, 오래 지속되는 설계로, 시간이 지남에 따라 가장 높은 해상도를 보장합니다. [토성 스펙트럼 3e] 는 고급 광학 설정 기능을 제공하며, 여기서 광학 설정을 조정하여 정확한 이미징 결과를 출력할 수 있습니다. 혁신적인 고성능 카메라 도구도 포함되어 있습니다. 온보드 이미징 소프트웨어는 카메라 매개변수를 리소그래피 구조와 자동으로 동기화합니다. 또한, 사용자는 전체 프레임 해상도로 이미지를 캡처 할 수 있으며, 이미지는 0.1 미크론 (0.1 미크론) 정도로 작습니다. 에셋은 CPA (Contour Point Accuracy) 또는 FPD (Fine Pitch Detection) 와 같은 미세 리소그래피 프로세스를 수행할 수 있습니다. SATURN SPECTRUM 3 E에는 노출 강도, 광학 이미징 설정 등과 같은 다양한 조정 가능한 매개변수도 포함됩니다. 이 모델을 사용하면 필요할 때 다양한 마스크, 웨이퍼 (wafer) 또는 기타 특수 포커스를 선택하고 신속하게 정렬할 수 있습니다. 마지막으로, ULTRATECH Saturn Spectrum 3e에는 온보드 먼지 필터 (onboard dust filter) 및 온도에 민감한 냉각 장비와 같은 다양한 안전 기능이 포함되어 있으며, 이는 최적의 성능 및 보호 측정을 보장하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 환경 사고 또는 기타 불규칙한 상황의 경우 보호 박스 (protective box) 도 포함되어 있습니다. 전반적으로 ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E는 안정적이고, 효율적이며, 정확하도록 설계된 고도의 웨이퍼 스테퍼입니다. 많은 기능을 통해 사용자는 사용자 정의 석판화 (customized lithography) 결과를 가장 정확하고 전문적인 수준으로 빠르게 만들 수 있습니다.
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