판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9232658

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e (Spectrum 3e) 는 마이크로 일렉트로닉스 제조에 높은 정확도의 기판 노출을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. ULTRATECH 특허 출원 중인 단일 반사 도량형 (single-reflection metrology) 장비를 갖춘 최신 기술을 활용하여 모든 크기 기판에 대해 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. Spectrum 3e의 고급 광학은 트렌치, 격리, 리소그래피, 유전체 에칭 등에 대한 정확한 오버레이를 제공하도록 설계되었습니다. 비접촉, 저소음, 유지 보수 AutoFocus 시스템이 특징이며 높이 변형을 기판으로 빠르게 조정합니다. 첨단 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 과 검사 장치 (inspection unit) 는 전체 분야에서 2 미크론 이하의 해상도를 제공하면서 결함 예방에 도움이 됩니다. 또한, 업그레이드된 노출 머신은 유연한 범위의 웨이퍼 (wafer) 및 프로세스 노출 요구 사항을 제공합니다. 이 장치는 정밀 로봇 공학을 위해 최첨단 스테이지 포지셔닝 (stage positioning) 도구를 사용하여 모든 초점 수준에서 일관된 정확성을 보장합니다. 고급 다중점 보정 정렬은 모든 기판의 위치를 확인하고 기록합니다. 스펙트럼 3e (Spectrum 3e) 는 또한 염료 레이저 및 반도체 레이저를 활용하여 이미지 및 에칭 기능을 향상시키는 맞춤형 레이저 소스를 갖추고 있습니다. 스펙트럼 3e (Spectrum 3e) 에는 프로세스 제어 강화를위한 전체 소프트웨어 패키지가 포함되어 있으며, 각 노출에 대한 레시피를 사용자 정의하는 프로그래밍 옵션이 있습니다. 이 장치에는 노출 시간 및 투여 정밀도를 위해 내부 예측 기가 장착되어 있습니다. 또한 업계 최고의 온라인 모니터링 자산은 운영자에게 디바이스 성능에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 안전 측면에서 스펙트럼 3e (Spectrum 3e) 는 안전에 대한 UL/ENL 등급이며, 장비 이상을 감지하기위한 모션 스태트 추적 모델이 특징입니다. 또한 이 장치에는 최신 진단 기능 (Diagnostic Capability) 이 통합되어 다운타임을 최소화하면서 최적의 안전을 보장합니다. 포괄적이고 정확한 ULTRATECH Spectrum 3e 웨이퍼 스테퍼는 기판 정확도와 프로세스 호환성을 최대화하려는 모든 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 시설에 이상적인 선택입니다. 첨단 옵틱 (Optic) 과 이미징 (Imaging) 시스템은 탁월한 정확성과 프로세스 효율성을 제공하는 반면, 포괄적인 안전 기능은 프로세스 신뢰성을 보장합니다.