판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9160685

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e는 15nm 범위의 기능이있는 웨이퍼를 생산할 수있는 고성능 범용 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 모듈, 옵션 (옵션) 을 통해 다양한 맞춤형 구성 수준을 구현할 수 있으며, 고속 자동 정렬 장비는 정확한 위치를 보장합니다. 웨이퍼 스테퍼는 동력, XY 스테이지 및 Z 포지셔너, 정확한 스텝 앤 리피트 정렬, 고해상도 조명 시스템 (Lighting System) 을 중심으로 설계되어 균일 한 조명으로 개별 웨이퍼를 조명합니다. 스테퍼는 스테이지에 장착 된 AC 모터에 의해 구동되며, 이는 최대 0.1 ½ m 해상도의 선형 운동을 제공 할 수 있습니다. ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E는 또한 고속 이미지 캡처 장치를 갖추고 있으며, 프레임당 최대 5Hz의 웨이퍼 이미지를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 작은 결함 및 차이점, 심지어 15 nm 미만의 치수를 가진 피쳐를 감지 할 수 있습니다. Saturn Spectrum 3e는 장비와 함께 패턴, 검사, 도량형 및 제조 워크플로우 관리를 위해 설계된 일련의 프로그램과 함께 제공됩니다. 또한 여러 소프트웨어 프로그램 및 표준 레이아웃 형식 (예: GDS, CDL, VHDL, CIF, OASIS) 과 호환되므로 기존 워크플로의 사용자 정의 및 통합이 더욱 유연합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 최대 50 개의 웨이퍼 척 (wafer chuck) 배치 옵션을 제공하여 기본 척을 정렬하여 조명 및 이미지 적용 범위를 최적화 할 수 있습니다. 또한 최대 1.2kW의 UV 조명을 제공 할 수있는 맞춤형, 강력한 조명기가 있습니다. SATURN SPECTRUM 3 E는 특허를받은 닫힌 루프 (closed-loop) 공구 정렬 기술을 사용하여 치수가 15 nm 작은 피쳐 패턴에서 매우 정확한 위치 정확성을 제공합니다. 또한 향상된 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 연동이 특징으로, 웨이퍼 정렬이 여러 노출에 대해 계속 최적화되어 있는지 확인합니다. ULTRATECH Saturn Spectrum 3e는 신뢰할 수 있는 고성능 웨이퍼 스테퍼로, 최대 15 nm 크기의 정밀 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 강력한 조명, 정확한 정렬, 다양한 소프트웨어 통합 기능을 갖춘 이 Wafer Stepper는 다양한 애플리케이션과 워크플로우에 적합합니다.