판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 300e #9221672

ULTRATECH Saturn Spectrum 300e는 뛰어난 해상도, 처리량 및 정확도를 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 이미징 시스템을 사용하여 Spectrum 300e에는 150mm 웨이퍼를 처리하여 위치 정확도 2 미크론에 맞춰 조정하는 기능이 있습니다. 2X Telecentric 렌즈는 초고속 왜곡 (ultralow distortion) 을 사용하여 가시 영역 전체에 걸쳐 최적의 초점과 균일 한 이미지를 제공합니다. 이를 통해 스테퍼는 전체 웨이퍼 크기 (wafer size) 범위에서 최적의 해상도를 만들 수 있습니다. 스펙트럼 300e에는 2 개의 광자 카운터 스캐너 (photon-counter scanner) 가 있으며, 이 스캐너는 레이저 빔을 사용하여 이미징 시스템의 전송 기능, 드리프트 및 노이즈를 정확하게 측정합니다. 이것 은 정확 하고 믿을 만한 "이미징 '을 보장 해 줄 뿐 아니라, 가장 복잡 한" 마스크' 까지도 정확 하게 재생 되도록 한다. 웨이퍼 로딩 스테이션은 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위한 간편한 인터페이스를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 표준 작동 모드 외에, 전면/후면 정렬을 위해 wafer 로더를 쉽게 구성하여 최적의 처리량을 제공합니다. 성능 측면에서 Spectrum 300e는 시장에서 가장 빠른 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다. 최대 300mm/sec의 스캔 속도를 제공할 수있는 2 선 노출 시스템 (two-ray exposure system) 으로 설계되어 프로세스가 빠르고 정확하게 완료됩니다. 최고 효율성을 보장하기 위해 Spectrum 300e 는 스테퍼 (stepper) 를 효과적으로 모니터링하고 관리할 수 있는 소프트웨어 제품군을 제공합니다. 스테퍼 및 웨이퍼 로드를 제어하는 것 외에도, 소프트웨어 제품군은 패턴 정렬, 에지 감지, 웨이퍼 회전 각도 미세 조정, 웨이퍼 로딩 필드 등의 고급 기능을 제공합니다. 인상적인 성능 외에도 Spectrum 300e는 사용 및 유지 보수가 쉽습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 와 사용자가 직접 교체할 수 있는 부품 (User Replaceable Part) 을 통해 최소한의 경험을 가진 직원이 쉽게 운영할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 내구성을 염두에 두고 설계되었으며, 정기적으로 EOL (End-of-Life) 테스트를 거쳐서 고객의 성능에 대한 자신감을 가질 수 있도록 합니다. 새턴 스펙트럼 300e (Saturn Spectrum 300e) 는 혁신적이고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 스테퍼로, 최적의 수준의 정확성, 처리량 및 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 정교한 이미징 (imaging) 알고리즘과 사용 편의성을 결합하면 모든 실험실 (Lab) 이나 생산 설비 (Production Facility) 에 이상적인 선택이 됩니다.