판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9312357

ULTRATECH Saturn Spectrum 300은 고급 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 제작을 위해 photomask를 준비하는 데 탁월한 유연성을 제공합니다. 자동화 된 웨이퍼 카세트 (wafer cassetting) 장비와 함께 작동하여 균일 한 기판 노출 및 배달을 제공합니다. Saturn Spectrum 300은 200mm 웨이퍼 스테이지, 6M 픽셀 카메라 및 웨이퍼를 구동하는 50,000 rpm 모터를 포함하여 기판 처리에 중요한 다양한 기능을 제공합니다. 표준 및 비표준 형식의 노출 스캔이 가능하며, 자동 패턴 회전, 레이저 패턴 검사, 패턴 등록, 패턴 종속 기판 노출 (pattern-dependent substrate exposure) 등의 특수 기능이 제공됩니다. 또한 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 Photomasking 작업을 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이 고급 웨이퍼 스테퍼는 유리, 쿼츠, 폴리 이마이드 등 다양한 기판 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 시스템의 고감도 (high-sensitivity) 는 최소한의 왜곡으로 기판에 패턴을 정확하고 정확하게 배치 할 수 있음을 의미합니다. 또한 매우 낮은 왜곡으로 스캔하는 동안 패턴을 스티칭 할 수 있습니다. ULTRATECH Saturn Spectrum 300은 웨이퍼 기판에 일관된 노출 용량을 제공하여 생산 시간을 단축하고 확장 불가능한 패턴으로 문제를 줄일 수 있습니다. 동일한 웨이퍼 기판 (wafer substrate) 에 동일한 패턴을 여러 번 검색할 수 있도록 장치를 프로그래밍하여 처리량 (throughput) 과 생산성 (productivity) 을 높일 수 있습니다. "머신 '은 또한 수" 퍼센트' 의 정확도 로 용량 을 측정 하는 데 사용 될 수 있다. 새턴 스펙트럼 300 (Saturn Spectrum 300) 은 UV 및 E-beam 방사선으로부터 웨이퍼를 보호하기 위해 내장 안전 장치를 포함하여 포괄적 인 안전 기능을 통합하도록 설계되었습니다. 다른 안전 기능으로는 기판의 광학 손상을 방지하는 광학 격자 (optical grid) 와 스트레이 라이트 (stray light) 의 영향을 제거하기위한 눈부심 방지 필터 (anti-glare filter) 가 있습니다. 이 도구는 또한 2 단계 냉각 자산을 통합하여 정확한 온도 범위 (temperature range) 와 최적의 프로세스 성능을 보장합니다. ULTRATECH Saturn Spectrum 300은 최고 신뢰성의 고해상도로 패턴을 생산할 수 있습니다. 고급 알고리즘 기반 기술을 통해 최고의 정확성과 반복 성을 달성 할 수 있습니다. 기판 노출, 기판 준비, 패턴 등록 등 다양한 프로세스 작업에 대한 탁월한 지원을 제공합니다 (영문). 사용자에게 친숙한 디자인과 고급 기능 덕분에 Saturn Spectrum 300 웨이퍼 스테퍼는 반도체 Fab 운영에 필수적인 도구입니다.