판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9163594

ULTRATECH Saturn Spectrum 300 웨이퍼 스테퍼는 포토 마스크 제작을위한 다용도, 비용 효율적인 도구입니다. 이 장비는 고정밀도, 저비용 웨이퍼 정렬 및 패턴 기능을 갖추고 있습니다. 그것 은 오늘날 의 "반도체 '장치 의 작은 특징 들 에 대하여는 정확도 가 높은 정밀도 의 석판화 를 제공 할 수 있다. Spectrum 300은 6 "x 6" 노출 시야를 특징으로하며 최대 6.8 "x 6.8" 의 가속 시야를 제공합니다. 스테퍼에는 4.3 인치 레티클 투 웨이퍼 간격이 있으며, 단일 기판의 여러 장치에서 높은 충실도 이미징이 가능합니다. 스테퍼는 또한 다른 노출 에너지를 사용하여 이미징 할 수 있으며, 위상-시프트 (phase-shift) 및 크롬없는 이미징 프로세스를 모두 사용할 수 있습니다. 시스템에 증분 높이 조정 (incremental height adjustment) 기능이 장착되어 있어 웨이퍼 스테이지를 물리적으로 이동할 필요 없이 웨이퍼에서 웨이퍼로 패턴화할 수 있습니다. 또한 EFF (Electrical-Field-Free) 이미징 기술을 통해 기존의 마스크 이미징 중에 발생할 수있는 이미지 왜곡을 제거합니다. 이미지 충실도 측면에서 Spectrum 300은 8 인치 레이저 광학 경로와 선형 드라이브 머신 (linear drive machine) 을 통해 뛰어난 해상도를 제공합니다. 또한 스테퍼는 3 개의 필드 스캔 기능과 높은 처리량을 통해 높은 생산성을 제공합니다. 이 도구는 최대 3200um/second의 총 스캔 속도를 달성 할 수 있습니다. 에셋은 총 16 개의 노출을 갖도록 구성 될 수 있으며, 이를 통해 여러 다이 (die) 에 걸쳐 이미지 오버레이 및 확장 리소그래피가 가능합니다. Spectrum 300은 이진 및 Leff 격자 및 반복 패턴을 이미징 할 수 있습니다. 이 모델의 특징 크기 해상도 0.25 미터 (talbot enabled lens) 는 고급 및 까다로운 리소그래피 애플리케이션에 적합합니다. 장비의 총 이동 범위는 x 및 y이며 정확도는 +/- 2m입니다. 안전성 측면에서 Spectrum 300에는 다음과 같은 여러 기능 및 옵션이 제공됩니다. 눈 안전 셔터, 이중 체인 작업 및 작업 중단. 이 스테퍼에는 최첨단 CE 호환 제어 시스템과 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 가 있어 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. Saturn Spectrum 300 웨이퍼 스테퍼는 photomask 생산을위한 비용 효과적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 장치에는 정확하고 정확한 이미징 (Imaging), 높은 생산성, 이미지 충실도 (Image Fidelity) 및 다양한 석판화 응용 프로그램에 적합한 안전 기능이있는 여러 기능이 장착되어 있습니다.