판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #293807072

ULTRATECH Saturn Spectrum 300은 최첨단 웨이퍼 스테퍼로, 직접 쓰기 리소그래피 응용 프로그램에 대해 정확하게 단계적으로 노출되도록 설계되었습니다. 고성능 제품과 노출당 비용이 매우 저렴하게 혼합되어 있습니다. 이 스테퍼는 ULTRATECH 독점 Saturn 300 플랫폼 기술을 기반으로하며 고급 해상도 2äm를 제공합니다. 여기에는 자동 정렬 기능, 고급 STEM 이미징 장비, 통합 시스템 컨트롤 및 강력한 진공 펌프 장치를 갖춘 공명 코일 패턴 스캔 단계 (resonant coil pattern scan stage) 가 포함됩니다. 스테퍼는 또한 0.0025 미크론 해상도의 4 축 회전 현미경에 부착 된 매우 민감한 광학 CCD 카메라를 특징으로합니다. 이 이미징 카메라를 사용하면 패턴이 매우 작음에도 불구하고 모든 디테일을 정확하게 잡을 수 있습니다. Saturn Spectrum 300은 수차 생산이 적고 충실도 이미징이 높은 통합 광학 머신을 갖추고 있습니다. 광학 도구는 다양한 측정 범위를 처리할 수 있으며, 동적 범위가 높고, 측정 시간이 빠릅니다. 스테퍼는 또한 입자수가 적은 높은 처리량 (throughput exposure) 을 위해 고품질의 신뢰할 수있는 비행 헤드 (flight head) 자산을 제공합니다. 이 비행 헤드는 노출 단계 동안 패턴 이동 및 왜곡에 대한 정확한 노출 및 모니터링을 돕습니다. 또한 서브미크론 (submicron) 기능 크기의 균일하게 평평한 레티클을 제공하는 데 도움이되며, 리소그래피 및 검사 작업을 빠른 속도로 실행하는 데 도움이됩니다. ULTRATECH Saturn Spectrum 300은 또한 모든 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 잘 배치되어 있고 사용하기 쉽습니다. 스테퍼에는 온도 모니터링 (temperature monitoring) 및 카메라 실드 쉴드 (camera shield shield) 와 같은 여러 안전 기능이 포함되어 있어 환경 장애로부터 민감한 부품을 보호합니다. 마지막으로 토성 스펙트럼 300 (Saturn Spectrum 300) 은 최고 수준의 밀도 해상도에서 뛰어난 이미지 품질을 제공 할 수 있습니다. 고급 기능 및 고급 진공 펌프 (vacuum pump) 모델은 모든 직접 쓰기 리소그래피 응용 프로그램에 이상적인 도구입니다.