판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9293521

ULTRATECH Saturn Spectrum 3 웨이퍼 스테퍼는 생산 과정에서 반도체의 정확하고 효율적인 정렬 및 노출을 위해 설계된 반자동 도구입니다. 이 도구에는 9 "x9" x-y 스테이지, 2 개의 8 "라운드 로빈 스테이지 및 600mm 깊이 필드가 있습니다. 컴퓨터 제어, PG (Digital Pattern Generator) 를 활용하여 서브 미크론 해상도를 제공하며 높은 처리량에 대한 반복 정확성을 제공합니다. 토성 스펙트럼 3 (Saturn Spectrum 3) 웨이퍼 스테퍼는 도구가 웨이퍼를 처리함에 따라 상당한 안정성을 제공하는 견고한 프레임을 기반으로합니다. 2 개의 8 인치 라운드 로빈 스테이지는 노출 중에 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 배치하여 양면 처리, 다중 레벨 패턴, 높은 처리량을 허용합니다. 또한, 이 도구의 3 개 축 모두 반도체 처리에 가장 진보 된 연산을 촉진하기 위해 협력 할 수 있습니다. 이 도구에 포함된 PG 구동 소프트웨어 (PG-Driven Software Suite) 의 일부는 웨이퍼 설정 및 미세 조정 중에 지원하는 자동 정렬 (Autoalign) 기능입니다. 이 기능은 처리량 (throughput) 을 증가시킬 뿐만 아니라, 각 노출 레이어에 대해 웨이퍼를 배치할 때 최적의 정렬을 보장합니다. 2000 선/밀리미터 광학 시스템은 더 높은 NA 수준에서 발생할 수있는 기하학적 왜곡과 빛의 플레어 (flare) 를 제거하여 패턴의 명확한 이미지를 제공합니다. 초점 이온 빔 코터와 함께 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 웨이퍼 스테퍼는 수동 프로세스를 제거하는 완전 자동화 시스템을 제공합니다. 저열 드리프트 (low thermal drift) 는 온도 보상 정확성을 보장하는 반면, 유지 관리 비용이 낮아 다양한 프로세스와 기판에 이상적인 도구입니다. 또한, 컴퓨터 제어 소프트웨어는 정확성과 반복 가능한 출력을 보장하며, 광범위한 생산 주기 (production cycle) 에서도 유연성과 좋은 결과를 제공합니다. Saturn Spectrum 3 웨이퍼 스테퍼는 정확성과 정밀도를 갖춘 고급 자동 반도체 처리를 제공합니다. 컴퓨터 제어 정밀도 (computer-controlled precision), x-y (x-y) 기능 및 양면 프로세싱은 최첨단 기판 생산에 강력한 도구입니다.