판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9281727

ULTRATECH Saturn Spectrum 3은 소형 칩 설계 제작의 일환으로 기판과 패턴 웨이퍼를 다양한 크기로 정렬하고, 패턴화하도록 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품 은 최첨단 기계 기술 을 사용 하여, 정교 한 광학 기술 과 결합 시켜서, 광석기 (photolithograpic) 패턴 을 기판 이나 "웨이퍼 '에 극히 정확 하게 적용 할 수 있게 해 준다. 새턴 스펙트럼 3 (Saturn Spectrum 3) 은 정밀 모션 시스템에 장착 된 고해상도 렌즈 장비로 구성되어 있어 정렬 및 패턴 적용의 최대 정확성을 제공합니다. 고도로 정확한 렌즈 장치는 웨이퍼 스테이지 헤드 (wafer stage head) 내에 보관되어 있어 안정적인 스테퍼 성능과 정확하게 제어 된 동작을 제공합니다. ULTRATECH 토성 스펙트럼 3 (ULTRATECH Saturn Spectrum 3) 에는 패턴 투영이 기판 또는 웨이퍼를 빠르게 정렬할 수 있도록 이미지 왜곡 보정기가 장착되어 있습니다. 또한 이 도구는 최적 (Optimum) 패턴 배치 (Pattern Placement) 를 보장합니다. 즉, 스텝퍼가 프로세스 챔버의 다른 위치 주위에서 이동할 때 자체 교정이 가능합니다. 토성 스펙트럼 3 (Saturn Spectrum 3) 은 X 및 Y축에서 전체 웨이퍼 또는 기판 크기 25mm에 걸쳐 1 마이크로 미터의 최대 공정 해상도를 제공하도록 설계되었습니다. 노출 패턴의 범위는 0.25에서 5 미크론이며, 매우 정확한 장치와 미세 구조를 생성합니다. 스테퍼를 사용하면 포토리스 연주자 (photoresist) 와 드라이 필름 (dry film) 리소그래피를 모두 사용할 수 있으므로 특수 재료 처리 및 향상된 기능을 사용할 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 정확한 패턴 정렬을 위해 부품 등록에 정확한 부품 (part to part registration) 을 제공하는 자동 장치 식별 에셋이 내장되어 있습니다. 울트라 테크 새턴 스펙트럼 3 (ULTRATECH Saturn Spectrum 3) 은 정교한 광학 및 기계 장비 외에도 최대한의 프로세스 제어가 가능한 최첨단 소프트웨어로 구성되어 있습니다. 이 소프트웨어는 실시간 데이터 해석 및 모든 처리 단계에 대한 온라인 추적 기능을 제공합니다. 또한, 다양한 유형의 리소그래피에 대한 정확한 패턴화 및 적응을 허용합니다. 전체적으로 토성 스펙트럼 3 (Saturn Spectrum 3) 은 고급 광학 및 모션 시스템으로 뛰어난 정확성을 제공하는 최고의 웨이퍼 스테퍼입니다. 각기 다른 유형의 리소그래피 (lithography) 에 대해 정확한 정렬 및 패턴 적용 (pattern application) 을 보장하여 매우 정밀한 장치와 미세 구조를 생산하는 데 이상적인 도구입니다.