판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9280616

ULTRATECH Saturn Spectrum 3은 까다로운 생산 시설의 요구를 충족하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 토성 스펙트럼 (Saturn Spectrum) 의 특정 모델은 전례없는 수준의 성능, 정확성 및 신뢰성을 제공합니다. 새턴 스펙트럼 3 (Saturn Spectrum 3) 은 최대 10 ° 에 도달 할 수있는 동적 시야를 가지고 있으며, 이는 해상도 1 µm에서 웨이퍼를 정렬 할 수 있습니다. 이러한 정밀도를 달성하기 위해 스테퍼에는 고성능 스캐너, 내장형 정밀 이동 액츄에이터, 고정밀 스테이지, 고속 프로세서가 장착됩니다. 울트라 텍 (ULTRATECH) 은 스테퍼의 정확성과 반복성을 유지하기 위해 유연한 유도 기술을 기계 구조에 통합했습니다. 이 "디자인 '은" 웨이퍼' 가 진동 이나 허위 운동 을 당할 때 에도 정렬 되는 동안 에 안정 상태 를 유지 하도록 한다. 또한 내장형 precision move actuator는 정확하고 반복 가능한 성능을 보장합니다. 소형 선형 모터를 사용하여 액추에이터는 최대 속도 40mm/s의 x, y 및 z 축으로 스테퍼를 이동할 수 있습니다. 이 고속 작동은 AF (Integrated Auto-focus) 기능으로 더욱 향상되었으며, 이 기능을 통해 기계는 자동으로 웨이퍼에 대한 최상의 초점 위치를 식별 할 수 있습니다. ULTRATEK은 상당한 비용 절감을 위해 다양한 소프트웨어 도구를 갖춘 ULTRATECH Saturn Spectrum 3을 채택했습니다. 스테퍼의 소프트웨어 패키지에는 통계적 피드백 프로그램 (statistical feedback program), 미세한 검사 프로그램 (microscopic inspection program) 및 시간이 지남에 따라 기계의 성능을 모니터링하는 추적 보고서 (trace report) 기능이 포함됩니다. 또한 Saturn Spectrum 3은 생산 라인에 쉽게 통합 할 수 있도록 설계되었습니다. 자동 처리 시스템 (automated handling system) 의 표준 통신 프로토콜과의 호환성을 제공하며, 향상된 성능을 위해 추가 하드웨어 구성 요소로 업그레이드할 수 있습니다. ULTRATECH Saturn Spectrum 3는 뛰어난 성능, 견고한 구성, 간편한 통합 기능을 통해 까다로운 생산 요구 사항을 충족할 수 있는 안정적이고 정확한 성능을 보장합니다.