판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9186993

ULTRATECH Saturn Spectrum 3은 반도체 제조에 대한 자동 접근 방식을 제공하는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 다양한 집적 회로 층의 높은 스루핑 생산을 촉진하도록 설계되었습니다. 통합 비전 정렬 시스템 (Integrated Vision Alignment System) 은 고해상도 등록 및 노출 정확도를 지원하므로 레이어 균일성에 가장 안정적인 계층을 확보할 수 있습니다. Spectrum 3은 4 "웨이퍼 매칭 용량의 입체 이미징을 사용하며 5 축 스캔 기능이있는 4 중 단계 XY 자동 포지셔닝 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 자동 웨이퍼 교환 에셋과 통합 진공 제어 모델 (integrated vacuum control model) 을 갖춘 고급 스테이지 제어 도구를 갖추고 있습니다. 이를 통해 카세트에서 웨이퍼를 쉽게 로드 및 언로드하고 6 구역 난방 오븐을 만들 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼의 전면 (front) 및 후면 (back sides) 모두에 균일 한 열 노출이 가능합니다. 정밀 노출 정확도를 더욱 향상시키기 위해 장비에는 옵션 (short-arc high-intensity discharge (HID) 램프) 도 제공됩니다. 스펙트럼 3 (Spectrum 3) 은 컴퓨터 구동 광학 단계 및 시력 검사 시스템을 사용하여 노출을 시작하기 전에 웨이퍼 스텝 엣지를 검사하여 등록합니다. 900nm (초고해상도) 등록이 가능하며, 단일 및 이중 패턴화 기능을 모두 제공합니다. 이 장치는 또한 매우 유연하며, 광범위한 웨이퍼 처리 환경과의 완벽한 호환성을 제공하며, 현재 기술 (0.25um ~ 28nm) 을 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 견고한 소프트웨어 패키지를 자랑하며, 이 패키지는 처리량과 효율성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 는 실시간 및 오프라인 데이터 분석과 3D 및 3D 시각화 도구를 모두 제공합니다. 따라서 Spectrum 3은 정밀 반도체 제작 환경에 적합한 선택입니다.