판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9182395

ULTRATECH Saturn Spectrum 3은 광석판 처리를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼로서, 전자기 방사선 (electromagnetic radiation) 에 노출시켜 트랜지스터 (transistor) 와 같은 회로 기능을 반도체 웨이퍼에 생성 할 수있다. Saturn Spectrum 3은 고급 자외선, 광학 및 기타 파원을 사용하여 이미징을 최적화하고 광 처리 시간을 최소화합니다. 스테퍼의 인상적인 해상도는 2äm이며 18mmfield의 자동 필드 스티칭입니다. 견고성 (Rigid) 구조는 빠르고 정확한 피쳐 배치를 가능하게하여 최대 100mm/sec의 확장 스캔 속도를 제공합니다. 또한 파면 분석 (Wavefront Analysis) 및 정렬 (Alignment) 을 위한 정교한 시스템이 특징이며 웨이퍼 다듬기 및 정밀 배치에 이상적입니다. ULTRATECH Saturn Spectrum 3에는 하향식 정렬 방법을 사용하는 이중 구성 요소 리소그래피 시스템이 있습니다. 이를 통해 직경이 최대 18mm 인 웨이퍼 및 노출 된 광학 구조를 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 또한 작동 온도 범위가 10 ~ 40 ° C인 최대 5 "기판을 지원하는 높은 안정성 챔버 및 로드 락이 특징입니다. 이 스테퍼는 Windows 10 및 Linux 운영 체제와 호환되는 사용자 친화적 인 소프트웨어 인터페이스와 함께 제공되며, 민감한 데이터와 지적 재산을 보호하기 위해 격리된 (isolated) 케이지와 패러데이 (faraday) 케이지로 제조됩니다. 220VAC의 전원 요구 사항, 3 단계, 이더넷, RS232/485 또는 I/Os 인터페이스 통신 방법도 지원합니다. 이 스테퍼는 반도체 산업이 필요로 하는 고급 석판화 공정 (photoresist imaging, chemical amplification, etching) 에 이상적입니다. 토성 스펙트럼 3 (Saturn Spectrum 3) 은 연구, 산업 또는 의료 분야에서 사용되든 현재 및 미래의 웨이퍼 처리 표준을 충족시킬 수있는 능력을 백업 할 수 있습니다.