판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293761611
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ID: 293761611
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 2001
Stepper, 6"-8"
Type: Silicon
Flat notch wafer
Reticle size, 6"
DOF Monitor
Lamp intensity
i-Line and GHI
Resolution: 5 µm
(3) GHI Stepper
12-Slots reticle library
GENMARK Robot and controller
GENMARK Pre-aligner
Wafer chuck, 5"-8"
WAS Alignment
Wavelength filter
Illuminator
P/N:5000533 USHIO USH-1003FA Lamp
RASCO TBW-UD60S Chamber
Illuminator performance:
GHI Lamp: 1425 mJ/cm²
i-Line lamp: 455 mJ/cm²
2001 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3은 반도체 산업을위한 고급 광석기 이미징을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 뛰어난 해상도를 위해 고정밀 이중 거울 도량형 장비와 결합 된 9 축, 선형 모터 구동 스캐닝 단계를 사용합니다. 자동 웨이퍼 교환 시스템은 중단 없는 웨이퍼 처리를 허용하며 2 인치, 4 인치 및 6 인치 웨이퍼와 호환됩니다. 이 스테퍼는 또한 단일 레벨 및 다중 레벨 저항의 이미징을 최적화하기 위해 조정 할 수있는 높은 정확도 광학 정렬 장치 (optical alignment unit) 를 선보입니다. Saturn Spectrum 3은 설치, 정렬, 웨이퍼 교환, 작업 제어를 지원하는 직관적이고, 사용자에게 친숙한 그래픽 사용자 인터페이스로 구동됩니다. '지능형 자동 초점 기계 (Intelligent Auto Focus Machine)' 와 같은 고급 기능을 사용하면 모든 유형의 웨이퍼 프로세스에서 효율적인 이미지를 얻을 수 있습니다. 설정 및 교정 시간은 최소이며 'Melt-On Delay' 및 'Cycle-Trace' 와 같은 기능은 이미지 일관성을 향상시키고 프로세스 개발 시간을 줄입니다. 스테퍼에는 'MaxRepeatTM' 및 'Free LinTM' 과 같은 광범위한 프로세스 최적화 알고리즘 및 이미징 도구 (예: 다양한 프로세스 단계 및 재료에 대한 최적의 임계 치수 및 라인 폭 제어) 가 포함되어 있습니다. 또한, ULTRATECH Saturn Spectrum 3은 다양한 웨이퍼 처리 시스템과 통합할 수 있으며, 이더넷 기반 통신 링크를 사용하여 사내 도구 또는 원격 위치를 제어할 수 있습니다. 새턴 스펙트럼 3 (Saturn Spectrum 3) 은 미세 곡물 환경 제어를 용이하게하도록 설계된 다양한 환경 설정을 제공합니다. 독점적 인 '액티브 모니터링 자산 (Active Monitoring Asset)' 을 사용하여 운영자는 웨이퍼 스테이지의 온도, 습도 및 진동 수준을 제어하여 웨이퍼 사용률 및 수율을 최대화할 수 있습니다. 또한 스테퍼는 '자동 베이크 온 존재 (Automated Bake-On Presence)' 를 통해 최적의 베이킹 조건을 시작하는 반면, '드라이 스톱 (Dry Stop)' 기능은 스트리핑 및 PR 헐링과 같은 안정성 크리티컬 프로세스 중 잠재적 인 얼룩을 제거합니다. 화재 억제 및 비상 폐쇄와 같은 안전 기능은 ULTRATECH Saturn Spectrum 3에 내장되어 있으며, 진동을 줄이기 위해 흡수 기본 판이 있습니다. 이 제품은 가장 엄격한 안전 기준 (Safety Standard) 및 인증을 준수하도록 제작되었으며, 매우 낮은 오염 및 초정밀 이미징 프로세스에 적합합니다. Saturn Spectrum 3은 고정밀, 차세대 반도체 웨이퍼 생산을위한 최고의 웨이퍼 스테퍼입니다.
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