판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293749306

ID: 293749306
빈티지: 2001
Stepper 2001 vintage.
ULTRAFECH ULTRATECH Saturn Spectrum 3 Wafer Stepper는 집적 회로 제작에 사용되는 정확하고 신뢰할 수있는 도구입니다. Saturn Spectrum 3은 향상된 석판화 기능으로 인해 고성능, 비용 효율적인 스테퍼입니다. 정확성과 반복성은 비용이 많이 드는 레티클과 재 정렬의 필요성을 줄입니다. 이 장비는 193 nm의 파장을 가진 깊은 자외선 광원을 사용하여 포토 마스크 (photomask) 를 기판에 투영합니다. 이 시스템은 최첨단 렌즈 장치 (state-of-the-art lens unit) 를 사용하여 뛰어난 이미징 해상도를 제공하여 photomask의 배치 및 패턴을 보다 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기계의 내부 광 도구 (optical tool) 는 수차를 줄여 2 미크론 이내의 정확한 이미지를 제공하도록 설계되었습니다. ULTRATECH Saturn Spectrum 3 Wafer Stepper는 반도체 제작을 위해 설계되었으며, 0.25 미크론 정도의 작은 기능을 배치 할 수 있습니다. 자산에는 여러 기능이 포함되어 있어 생산성과 처리량을 높일 수 있습니다. 이러한 기능에는 개선 된 웨이퍼 레벨 주소 확인 모델, 프로세스 진단, 챔버 인터록, 빠른 흐름 장비 및 빠른 듀얼 헤드 웨이퍼 로더가 포함됩니다. 이 시스템에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 포함되어 있어 장치를 쉽고 효율적으로 제어할 수 있습니다. 이 기계는 통합 안전 기능 (Integrated Safety Features) 과 유해 가스 스위트에 대한 가능한 인터 록 (Interlock) 을 포함하여 안전 고려 사항을 고려하여 설계되었습니다. 또한 다운타임으로 인한 생산성 손실을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. Saturn Spectrum 3 Wafer Stepper는 집적 회로 제작에서 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다. 리토 그래피 기능이 향상되어 포토 마스크 (photomask) 및 기타 요소를 기판에 매우 정확하고 정확하게 배치하고 패턴화 할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 효율적인 설계로 생산성 (productivity) 과 처리량 (throughput) 을 향상시키는 도구이며, 안전성 (safety) 기능은 안전하고 안정적인 도구입니다.
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