판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293642851

ULTRATECH Saturn Spectrum 3은 반도체 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 비용 효율성, 낮은 유지 보수, 향상된 해상도, 뛰어난 정확성 및 운영 효율성을 제공합니다. Saturn Spectrum 3은 최신 스텝 필드 리소그래피 기술을 사용하여 뛰어난 웨이퍼 성능을 제공합니다. 이 장비는 2 단계 리소그래피 프로세스를 사용하여 더 정밀하고 작은 기능 크기를 허용합니다. 이 혁신은 또한 경쟁 모델보다 더 큰 정렬 정확성을 가능하게합니다. 또한 ULTRATECH Saturn Spectrum 3에는 고정밀도, 고지속 노출 시스템이 장착되어 있어 빠르고 안정적인 프로세스 시간을 보장합니다. 이 장치는 고강도 광원 (twostage high-intensity light source) 으로 구동되며 일관성 있고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 사용자는 노출 시간을 조정하여 고품질 결과를 확인할 수 있습니다. Saturn Spectrum 3에는 여러 가지 고급 자동화 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 자동, 반복 가능한 스테퍼 프로세스 제어 (stepper process control) 가 포함되어 있어 추적 정확도가 향상되고 분할 모서리 등록 (split-edge registration) 및 충돌 방지 (collision avoidance) 가 보장됩니다. 또한, 기계에는 최적의 웨이퍼 성능을 보장하는 도구 보정 및 모니터링 도구가 포함되어 있습니다. 또한 ULTRATECH Saturn Spectrum 3은 웨이퍼 임플란트 및 어닐링 기능을 제공합니다. 이 자산은 고급 전자 빔 리소그래피 (electron-beam lithography) 모델을 사용하여 임플란트에 대한 고품질 저항 (resist) 기능을 제공하여 프런트엔드 및 백엔드 프로세스를 모두 통합합니다. 마지막으로, Saturn Spectrum 3에는 작업 및 프로세스 제어가 용이한 직관적 인 사용자 인터페이스가 있습니다. 이 장비는 최신 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 기술을 활용하여 현재 시스템 상태 및 워크플로우를 명확하고 포괄적으로 표시합니다. 전반적으로 ULTRATECH Saturn Spectrum 3은 반도체 제조업체의 프로세스 및 성능 정확성을 유지하기 위해 강력하고 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 리토그래피 (lithography) 의 최고 성능, 정교한 자동화, 사용자 친화적 인터페이스 등을 결합하여 뛰어난 웨이퍼 성능을 제공합니다.