판매용 중고 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293628684
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ID: 293628684
웨이퍼 크기: 4"-8"
빈티지: 1998
Stepper, 4"-8"
G&H i-Line optics
Lamp, 1000 W
Extended Focus option for thick resist exposure capability
GENMARK robot
Servo pre-aligner
Reticle, 5" (Capable of upgrading to 6")
Reticle barcode reader
Wafer Edge Exclusion (WE)
Auto aperture
COGNEX Machine Vision System (MVS)
Max FOV of 44mm x 26.7mm
Numerical aperture: 0.16
Lower pelicle protection
Pneumatic-lock movable handler
1998 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3 웨이퍼 스테퍼는 고급 광학 석판화 응용 프로그램을 위해 설계된 고정밀 고성능 도구입니다. 뛰어난 옵티컬 성능, 대형 6.5 인치 필드 크기와 고급 옵티컬 디자인이 결합되어 있습니다. 새턴 스펙트럼 3 (Saturn Spectrum 3) 은 최대 노출 면적이 6.5 인치인 다중 사용자 시스템으로, 높은 처리량과 낮은 소유 비용을 제공합니다. ULTRATECH Saturn Spectrum 3의 고급 광학 설계는 4 미러 이미징 시스템을 사용하여 종횡비가 높고 이미지 왜곡이 적은 뛰어난 이미지 품질을 제공합니다. 또한 6.5 인치 (6.5 인치) 의 큰 필드 크기를 제공하여 복잡한 장치 설계에 더 높은 장치 적용 범위를 제공합니다. 초점이 우월하고 NA가 낮기 때문에 k1이 낮은 어플리케이션에 적합합니다. 고급 옵틱 외에도 Saturn Spectrum 3에는 고속 Imation 드라이브 및 로드 포트도 있습니다. 이렇게 하면 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리를 통해 처리량 및 생산성을 향상시킬 수 있습니다. ULTRATECH Saturn Spectrum 3에는 자동 정렬, 비전 기반 정렬 교정 시스템, 통합 레이저 간섭계 등 다양한 통합 웨이퍼 처리 옵션이 있습니다. 따라서 정렬 정확도와 처리량이 뛰어나기 때문에 대용량 (high-volume) 운영 실행에 이상적입니다. Saturn Spectrum 3은 단일 및 다중 사용자 모드 모두에서 작동 할 수 있습니다. 표준 네트워킹 프로토콜을 통해 다른 툴에 쉽게 연결할 수 있으며, 원격 액세스를 허용하며, Windows 기반 컴퓨터와 완벽하게 호환됩니다. 직관적이고, 메뉴 방식의 인터페이스로 사용이 간편하며, 특정 작업에 맞게 사용자 정의, 최적화할 수 있는 다양한 소프트웨어 옵션이 있습니다 (영문). 전반적으로 ULTRATECH Saturn Spectrum 3은 뛰어난 옵틱, 높은 처리량, 낮은 소유 비용 등, 매우 정밀한 광학 석판화 어플리케이션을 위한 탁월한 도구입니다. 고급 옵틱 (Optic) 및 통합 웨이퍼 (Wafer) 처리 기능을 통해 고급 장치 설계를 위한 귀중한 툴이 될 수 있으며, 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 및 광범위한 소프트웨어 옵션을 통해 특정 애플리케이션에 맞게 손쉽게 사용자 정의할 수 있습니다.
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