판매용 중고 ULTRATECH Saturn III 6700 #293651574

ID: 293651574
빈티지: 1990
I-Line stepper 1990 vintage.
ULTRATECH Saturn III 6700 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 제조에 사용되는 정밀 광학 리소그래피 기계입니다. 네트워크 기반 아키텍처와 관성 다중 축 처리 시스템을 갖춘 9 인치 (auto-aligning) 고급 스테퍼입니다. 이를 통해 고급 마이크로 일렉트로닉스의 고속 생산을 위해 정확하고, 정확하며, 반복 가능한 포토 마스크 배치가 가능합니다. 6700 시리즈는 탁월한 처리량을 제공하며, 노출 시간은 0.25 미크론의 하이엔드 수율을 지속적으로 제공합니다. 내장형 정밀 동작 제어를 통해 빠르고, 안정적이며, 정확한 위치와 동시에 최대 8 다이를 스캐닝할 수 있습니다. 운영자 인터페이스에는 터치스크린 LCD 모니터와 종합적인 사용자 진단이 있습니다. 6700 시리즈는 SOL-Gel, ALD 및 HRG (High Resolution Glass) 와 같은 다양한 포토 esist와 호환됩니다. 6 "노출 영역은 6" 에서 12 "사이의 장치 크기를 처리 할 수 있습니다. 즉, 단일 마스크 세트는 여러 장치 크기를 다룰 수 있습니다. 고 공차 노출 시스템은 광원 출력 최대 3mW/cm2, 용량 노출 45-200mJ/cm2로 넓은 지역에 균일 한 노출을 보장합니다. 고해상도 비트맵, 벡터 그래픽, 이미지, 텍스트 데이터 등 다양한 소스의 다양한 데이터 입력은 4MB 의 온보드 메모리 (Onboard Memory) 와 대량 데이터 입력/출력 인터페이스 (Bulk Data Input/Output Interface) 를 통해 쉽게 관리할 수 있습니다. 강화 된 산업 공기 베어링을 갖춘 Saturn III 6700은 빠르고 반복 가능한 멀티 축 스테이지 운영을 달성합니다. 고조파 왜곡을 방지하는 내장 차동 드라이브 미러 (differential drive mirror) 는 노출 중에 안정적인 작동을 보장합니다. 또한 6700 시리즈에는 모든 ULTRATECH 고급 석판 도구와 호환되는 강력한 노출 및 초점 제어 알고리즘이 제공됩니다. 노출 모니터가 내장되어 있어 노출 조건이 균일하고 반복 가능하며, 포커스 모니터를 사용하면 웨이퍼 레벨 포커스 (focus) 제어를 수행할 수 있습니다. ULTRATECH Saturn III 6700은 대규모로 고급 리소그래피 반복 가능성, 정확도, 속도 및 해상도를 생산하는 데 적합합니다. "비용 효율성 '과" 견고한 기능' 을 결합하면 다양한 고급 마이크로일렉트로닉스 프로젝트를 달성할 수 있습니다.
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