판매용 중고 ULTRATECH Saturn AP 300 #9163161

ULTRATECH Saturn AP 300 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 반도체 산업의 고급 사진 분석 응용 프로그램을 위해 설계되었으며 특히 대용량 응용 프로그램 및 빠른 장치 처리에 적합합니다. AP 300은 직경 300 밀리미터 (300 mm) 의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 기판 크기에 관계없이 모든 프로세스 매개변수에서 높은 수준의 균일성을 생성하는 특허받은 환류 이미징 장비를 갖추고 있습니다. 시스템은 0.25 미크론 (micron) 까지 해상도에 도달하여 고급 장치 형성에 대한 파인라인 패턴을 사용할 수 있습니다. AP 300은 이중 패스 S 자형 스캔 스테이지와 2 개의 스캔 축으로 구성되어 전체 웨이퍼 커버리지를 제공합니다. 이를 통해 뛰어난 반복성과 낮은 왜곡으로 정확하게 정렬 된 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장치에는 프로그램 가능한 하이브리드 셔터 (hybrid shutter) 가 있으며, 이는 다양한 노출 시간, 스택 샷 (stack shot) 또는 시야 내에서 독립적 인 위치를 제외하여 웨이퍼의 다른 영역을 동시에 스캔 할 수 있습니다. 이 기능은 처리량을 높이고 AP 300을 photomask 정렬에 적합하게 만듭니다. 또한 AP 300 은 정밀 이미징 기능 외에도 자동화된 광 정렬 장치 (optical alignment machine) 를 갖추고 있습니다. 고감도, 디지털 검출기는 포토 마스크 위치와 스테퍼 위치를 9um 정확도 이내로 빠르게 결정하고 조정하는 데 사용됩니다. 이 기능은 설정 시간을 줄이고 인쇄 결과를 최적화합니다. 또한 AP 300은 전원 장애 보호, 웨이퍼 보호 부족, 마스크 ID 테이블, 자동 흐름 모니터링, 카세트 처리 기능이있는 로봇 로더를 포함하여 높은 수준의 자동화 기능을 제공합니다. 또한 이미지 수정, 프로세스 레시피, 웨이퍼 추적, 인쇄 웨이퍼 (printed wafer) 정보를 위한 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 포함된 컴퓨터도 제공됩니다. 최종 보호 계층 (layer of protection) 인 경우, 이 제품에는 여러 가지 fail-safe 기능이 장착되어 있어 치명적인 자산 장애가 발생할 경우 즉각적인 차단을 제공합니다. 토성 AP 300 웨이퍼 스테퍼는 대용량 작업을 위해 고급적이고 안정적인 도구입니다. 뛰어난 해상도, 자동 기능, 정확한 스캐닝 기능 덕분에 AP 300 은 디바이스 제작을 위한 원스톱 (one-stop) 솔루션을 제공합니다. 종합적인 기능을 갖춘 AP 300 은 고성능 사진 해설을 위한 탁월한 선택입니다.