판매용 중고 ULTRATECH Mercury XLS 200 #9228468

ULTRATECH Mercury XLS 200 Wafer Stepper는 제조업체가 고급 반도체 제작 프로세스를 위해 고정밀 칩 패턴을 만들 수있는 고성능 석판화 도구입니다. XLS 200에는 탁월한 패턴 인쇄 정확도와 높은 처리량을 제공할 수 있는 고급 (advanced) 기능이 내장되어 있습니다. 이 장비는 FiestoLVDS 다중 레벨 이미징 플랫폼 및 Beamblanker 전자 셔터를 포함한 ULTRATECH 고급 이미징 기술을 기반으로합니다. 이러한 기술은 정확한 이미징과 향상된 빔 노출 안정성을 초래합니다. 이 시스템은 또한 최적의 성능 및 패턴 배치 정확도를 위해 열적으로 안정적인 이미징 광학을 갖추고 있습니다. 이 첨단 기술을 통해 XLS 200은 높은 해상도, 낮은 라인 너비, 높은 오버레이 정확도로 이미지를 만들 수 있습니다. XLS 200은 노출을 위해 독립적으로 제어되는 별도의 열이있는 이중 빔 아키텍처를 사용합니다. 이 모듈식 설계를 통해 처리량과 성능이 향상됩니다. 또한, 이 플랫폼은 노출 과정에서 마스크와 웨이퍼를 정확하게 정렬하기위한 5 축 단계를 포함합니다. 또한 XLS 200 은 유연하고 확장 가능한 아키텍처를 통해 고급 프로세스와 옵션을 통합할 수 있습니다. 여기에는 SmartSource, Focal-Depth, Multi-Level, Multi-Patterning, Polarity 및 Low Dynamics와 같은 선택적 리소그래피 기능이 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 프로세스를 사용자 정의할 수 있으며, 이터레이션 수가 적어 더 높은 수율을 얻을 수 있습니다. XLS 200은 장치 교정 프로세스를 간소화하여 개발 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 여기에는 시간 절약, 운영자 개입 감소 등의 빠른 측정 레이저 높이 및 초점 시스템이 포함됩니다. 또한 기계에는 자동 교정을위한 이동식 교정기 보드가 포함되어 있습니다. 최첨단 기술을 통합 한 Mercury XLS 200 Wafer Stepper는 고급 반도체 제조 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다. 효율적인 교정과 향상된 처리량을 통해 탁월한 성능, 향상된 생산량, 비용 절감 효과를 제공합니다.