판매용 중고 ULTRATECH Mercury XLS 200 #9228467

ULTRATECH Mercury XLS 200은 고급 마이크로 전자 장치의 비용 효율적인 제조를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이것 은 정확성 과 신뢰성 을 위해 만들어졌으며, 소형 "지오메트리 '로 밀도 가 높고 복잡 한" 디자인' 을 만들어 내는 석판화 작업 에 이상적 이다. XLS 200 의 향상된 이미징 기능으로, 세밀한 기하학 및 최첨단 설계 기능에 적합합니다. 4450mm/sec의 빠른 스캔 속도 (fast scan speed) 를 통해 가장 밀도가 높은 패턴에 대해 빠르고 정확한 처리 시간을 제공합니다. 고해상도 옵틱은 13nm 회선 폭 기능으로 뛰어난 균일성과 이미지 품질을 제공합니다. 고급 단계 처리 시스템 (Advanced Stage Handling System) 은 빠른 웨이퍼 로딩과 정확한 정렬을 가능하게 하며, 활성 프런트 엔드는 낮은 수준의 웨이퍼 스트레스를 보장합니다. 이 시스템에는 진공실 자동 조정, 노출 시간 측정 제어, 오염 제어 (contamination control) 를 포함하는 정교한 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 자동화된 튜닝 및 최적화 기능을 통해 스캐너, 노출 소스 (Exposure Source), 웨이퍼 간의 정확한 상호 작용을 보장하여 프로세스 성능을 최적화할 수 있습니다. XLS 200에서 자동 초점 및 초점 드리프트 보상을 통해 시간 경과에 따른 높은 수준의 정확도를 유지할 수 있습니다. XLS 200은 생산성을 향상시키기 위해 다중 웨이퍼 로드 (Wafer Loading) 및 언로드 (Unloading) 옵션과 레시피 기반 사용자 인터페이스로 배치 처리를 수행합니다. 그 탐지기 정확성과 반복성은 석판화 시스템 (lithography systems) 시장에서 타의 추종을 불허하며, 쉽게 유지 보수하도록 설계되었습니다. 머큐리 XLS 200 (Mercury XLS 200) 은 웨이퍼 스테퍼를위한 엔지니어링 경이로움으로, 정확성과 신뢰성을 갖춘 비용 효율적인 제조 및 복잡한 리소그래피 작업을 지원합니다. 반도체 산업을 위한 고급디자인을 생산하는 데 이상적인 "기능 '이다.