판매용 중고 ULTRATECH Mercury XLS 200 3160 #9228469

ULTRATECH Mercury XLS 200 3160은 최고의 이미징 요구 사항을 충족하도록 설계된 DUV (Deep Ultraviolet) 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 제조 품질 관리 (Manufacturing Quality Control) 및 공정 최적화 (Process Optimization) 를위한 마이크로 칩을 검사하기 위해 반도체 업계에서 사용됩니다. 이 장비에는 10 인치 옵틱 스테이지 및 10 인치 가변 속도 스캔 시스템이 장착되어 있어 정확한 이미징 및 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. Mercury XLS 200 3160은 반도체 생산을 위한 최적의 이미징 및 분석을 지원하는 다양한 기능을 제공합니다. 이 장치에는 한 쌍의 정교한 레이저 포커싱 가드 (focusing guard) 가 장착되어 있어 이미징을 선명하고 고품질로 유지할 수 있습니다. 레이저 포커스 가드 (Laser Focus Guard) 는 반복 가능하고 일관된 이미징을 위해 이미징 설정에서 비정상적인 정렬을 감지하도록 설계되었습니다. 또한, 기계는 2 차원 등급 기법을 사용하여 단계적 반복 생산 작업에서 추측을 제거합니다. 이 기술은 또한 반복 가능한 정확도로 빠르고 엄격한 내결함성 검사를 성공적으로 수행하도록 지원합니다. ULTRATECH Mercury XLS 200 3160은 연속 고해상도 이미징을 생성하는 솔리드 스테이트 램프로 구동됩니다. 이 램프는 또한 길 잃은 빛을 최소화하는 데 도움이되며, 이는 일부 이미지에서 인공물을 유발할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 처리량을 향상시키고 결함 감지를 위해 고급 광학 경로 (advanced optical path) 로 설계되었습니다. 이 경로는 원치 않는 반사 (reflection) 와 산란된 광원 (light) 을 줄여 더 나은 이미지 대비를 보장합니다. Mercury XLS 200 3160은 다이, 기판, 레이저 스캐닝 정렬기를 포함한 다양한 정렬 표시 시스템과 함께 사용할 수 있습니다. 이를 통해 556mm ~ 528mm 사이의 다양한 크기와 기판을 이미징할 수 있으며, 모든 이미징 시나리오에서 정확성과 반복성을 보장합니다. ULTRATECH Mercury XLS 200 3160은 자동 (automated) 공구 스크립트와 통합되어 보다 편리하고 효과적으로 자동 검사 루틴을 설정할 수 있습니다. 또한, 이 에셋은 시각적 관리 사용자 인터페이스 (Visual Management User Interface) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 이미징 프로세스를 더욱 단순하고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 마지막으로, Mercury XLS 200 3160에는 무정비 전자 장치가 장착되어 있어 운영 비용을 절감하고 다운타임을 줄일 수 있습니다. 이 모델은 다른 운영 툴과 손쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 즉, 운영 프로세스 최적화에 이상적인 요소입니다.