판매용 중고 ULTRATECH LSA 201LP #9286627
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ULTRATECH LSA 201LP는 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 가장자리 편향 조명을 위해 특별히 설계되었으며, 저항선과 공간을 반 미크론 해상도까지 생성 할 수 있습니다. ULTRATECH LSA201LP는 동작 제어에 고성능 선형 모터 기반 단계를 사용합니다. 이 스캐너 (scanner) 는 2축 이동 단계를 갖춘 유일한 스캐너 (scanner) 로, 웨이퍼의 다른 모양과 구조를 스캔할 수 있습니다. 이를 통해 반복 가능한 최고 수준의 정확도를 달성할 수 있습니다. LSA 201LP는 0.75의 수치 조리개와 5.4mm의 시야각 (field-of-view) 을 제공하여 광범위한 세부 패턴을 달성 할 수 있습니다. 고해상도 Optic이 장착되어 있으며 통합 자동 조정 기능과 함께 Constant Illumination 및 Variable Illumination을 모두 제공 할 수 있습니다. LSA201LP는 또한 리소그래피 동안 노출 광학의 정확한 광학 정렬을 보장하는 QBAS (Quad-Beam Alignment System) 를 갖추고 있습니다. ULTRATECH LSA 201LP에는 광원 카드 (Light Source Card) 도 포함되어 있어 스캐너 광학 부품에 저소음 전원이 공급됩니다. 이렇게 하면 전원 공급 장치로 인한 소음 유발 (noise-induced) 강도 변경으로 인한 패턴 결함이 줄어듭니다. 또한 ULTRATECH LSA201LP는 자동 정렬, 이미지 처리, 결함 검사 등 다양한 자동 웨이퍼 처리 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 개발 프로세스의 속도를 높이고, 개발 비용을 절감할 수 있습니다. 전반적으로 LSA 201LP는 고급 석판화 프로젝트에 적합한 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고해상도 (High Optical Resolution), 정교한 자동화 기능 및 강력한 Optic을 결합하면 고급 석판화 (Lithography) 애플리케이션을 위한 종합적인 시스템이 제공됩니다. LSA201LP는 최적의 결과를 얻기 위해 최신의 고급 스테퍼 (stepper) 기술을 필요로 하는 사람들에게 이상적입니다.
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