판매용 중고 ULTRATECH LSA 201 #9281314
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ID: 9281314
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2015
Laser spike annealer, 12"
Process: Dual Beam
CIM: SECS / GEM
Fab section: Diffusion
Hardware confguration (Fab):
Main system: RASCO
Factory Interface: (2) FOUP
Handler system: GENMARK GB
Options system: DC035-UT-A Laser
Remote / Optics rack
Hardware confguration (Sub fab / Auxilliary units):
ATS Heat exchanger
2015 vintage.
ULTRATECH LSA 201은 소형 검류계 스캐너로, 정밀 스캔 및 이미징 응용 분야에 적합합니다. 이 제품은 웨이퍼 스테퍼 시스템 (wafer stepper system) 용으로 특별히 설계되었으며, 와퍼를 가로 질러 섬세한 마스크를 정확하게 이동하여 고해상도 이미지를 생성하는 데 사용됩니다. 스캐너 (scanner) 에는 작은 프로파일이 있어 광학 장치 (optics) 와 시스템의 다른 컴포넌트 (component) 의 통합에 더 큰 유연성을 제공합니다. LSA 201 은 특허를받은 전기 광학 피드백 시스템을 사용하여 정확하고 반복 가능한 모션 제어를 제공합니다. 또한 정밀도가 높은 광학 요소 정렬을 사용하여 반복 가능성과 정확성을 조정합니다. 이를 통해 웨이퍼 스테퍼는 픽셀 왜곡 (pixel distortion) 을 최소화하면서 정확한 결과를 얻을 수 있으며, 수동 조정의 비용과 복잡성도 줄일 수 있습니다. 스캐너는 초당 최대 50 마이크로미터의 스캔 속도를 허용하는 고해상도 스캐닝 시스템을 갖추고 있습니다. 5 내지 15 "볼트 '의 조정 가능 전압 을 가지고" 드라이브 모우터' 에 최대 2 "밀리암프 '의 전류 를 공급 할 수 있다. 또한, 이 장치에는 모션을 정확하고 정확하게 제어하기 위한 정교한 디지털 인터페이스 (digital interface) 가 장착되어 있습니다. ULTRATECH LSA 201은 효율적인 스테퍼 마스크 변경을 위해 설계되었습니다. 마스크 변경 메커니즘이 빠르고 정확하여 15 초 이내에 마스크를 변경할 수 있습니다 (영문). 또한 스캐너 (scanner) 와 모든 기능 및 기능을 완벽하게 제어하는 강력한 Windows 기반 소프트웨어 패키지가 제공됩니다. LSA 201 은 (는) 정밀 안전 메커니즘으로 설계되어 작동 중에 장치가 안전하게 유지됩니다. 여기에는 과부하 시 자동 차단 (automatic shut) 과 비정상적인 움직임을 감지하고 즉시 중지하는 센서 (sensor) 가 포함됩니다. 또한, 스캐너는 재료나 솜씨 (workmanship) 로 인한 결함에 대해 2 년 보증으로 적용됩니다. 결론적으로 ULTRATECH LSA 201은 고성능 이미징 및 스캔 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 쉽게 적응할 수 있으며, 매우 정밀한 동작 제어 기능을 갖추고 있으며, 마스크 (mask) 를 빠르게 변경하여 작업 효율을 높일 수 있습니다. 강력한 소프트웨어 패키지는 정밀한 제어에 필요한 모든 기능과 기능을 제공하며, 안전 장치 (Safety Mechanism) 는 장치를 효율적이고 안전하게 작동하도록 합니다.
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