판매용 중고 ULTRATECH LSA 100A #9392624

ULTRATECH LSA 100A는 석판 인쇄, 회로 인쇄 및 패턴 응용 프로그램을위한 완전 자동화된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 고효율의 고급 LED 광원과, 빠르고 정확한 웨이퍼 (Wafer) 포지셔닝이 가능한 전동식 스테이지 (Motorized Stage) 를 갖추고 있습니다. LSA 100A는 패턴이 있는 웨이퍼나 중첩되지 않은 웨이퍼를 스캔하여 회로 패턴을 만들 수 있습니다. 스캐닝 기술을 활용하여 표준화된 미세 구조를 만듭니다. 이 시스템에는 최대 석판 제어로 레티클 조명을 조절하기위한 프로그래밍 가능, 가변 슬릿 및 무한대 튜브 조합이 있습니다. UV250 광원은 최대 80 와트의 광출력으로 조정할 수 있습니다. 따라서 여러 가지 빔 (beam) 모양을 선택하고, 초점 (focus) 을 개선하며, 더 넓은 시야를 달성할 수 있습니다. ULTRATECH LSA 100A는 최대 4 인치 x 4 인치의 필드 크기로 0.75 äm의 수평 해상도를 제공합니다. 이 장치에는 더 정확한 조명을 위해 슬릿 위치를 조정할 수있는 가변 슬릿 머신 (Variable slit machine) 이 장착되어 있으며, 정확도는 0.15äm입니다. 무한대 튜브 (Infinity Tube) 기술은 전체 시야에 걸쳐 균일하고, 반복 가능하며, 일관된 조명을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 더 세밀한 패턴을 위해 낮은 에너지 설정에서 상당한 동적 노출 범위를 제공합니다. LSA 100A에는 이동식 스테이지 (movable stage) 가 장착되어 있어 세밀한 조정 웨이퍼 위치 및 제어 주기 시간으로 조정할 수 있습니다. 사용자 안전을 보장하기 위해, ULTRATECH LSA 100A는 SEMI 및 CE 표준의 요구 사항을 충족하는 높은 수준의 안전 및 환경 요구 사항에 따라 설계되었습니다. 저진동 (low vibration) 과 저음향 소음 (low acoustic noise) 수준을 제공하여 작업 환경이 안전하고 편안하도록 합니다. 이 툴은 신뢰성이 높으며, 강력하고 경제적인 구성요소를 활용하여 신뢰할 수 있는 하드웨어/소프트웨어 아키텍처를 갖추고 있습니다. LSA 100A는 강력하고, 사용자 친화적이며, 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼로, 종합적인 기능을 제공하여 정확하고 정확한 석판화 결과를 제공합니다. 여기에는 조정 가능한 UV250 광원, 프로그래밍 가능한 가변 슬릿 에셋 및 석판 제어를 극대화하는 무한대 튜브가 포함됩니다. 동력화 단계 (Motorized Stage) 는 빠르고 정확한 웨이퍼 포지셔닝을 제공하며, 모델은 최고 수준의 안전 및 환경 요구 사항을 충족합니다. ULTRATECH LSA 100A는 회로 인쇄 및 패턴 응용 프로그램을 위한 탁월한 선택입니다.