판매용 중고 ULTRATECH LSA 100 #9298839

ULTRATECH LSA 100은 다양한 기판 및 웨이퍼 크기에 대해 정확하고 정확한 정렬을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. ULTRATECH LSA100은 우수한 선형 슬라이드 어셈블리와 회전 인코더 (rotational encoder) 를 갖춘 고정밀 포지셔닝 장비입니다. 완전자동 공구로, 여러 기판 또는 웨이퍼 (wafer) 에 대한 포토리토그래피 및 노출을 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 높은 처리량, 뛰어난 위치 지정 정확성, 독보적인 이미지 및 프로세스 제어를 제공합니다. 이 장치는 특허를받은 자기 리프트 머신 (magnetic lift machine) 을 사용하여 다양한 프로세스 작업 중에 제어, 균일 한 움직임을 달성합니다. 이 도구는 또한 모델과 웨이퍼 기판 사이의 정확하고 일관된 정렬을 보장하는 독특한, 고해상도, 견고한 레이저 간섭계 기반 정렬 에셋 (alignment asset) 을 갖추고 있습니다. 이 장비는 4 인치 및 6 인치 라운드 기판을 포함한 다양한 웨이퍼 크기를 지원합니다. 또한, 이 시스템은 다양한 광학 이미징 시스템 (optical imaging system) 과 연동하여 다양한 파장 및 해상도로 노출에 이상적입니다. LSA 100 은 또한 정교한 프로세스 제어 장치 (process control unit) 를 제공하여 사용자가 노출 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 "머신 '은 동일 한 기판 에 여러 번 노출 되어 노출 시간 이나" 에너지' 강도 의 변화 를 가능 케 한다. 또한, 사용자는 필요에 따라 노출 매개변수를 조정하고 최적화할 수 있는 고급 3D 측정 에셋 (advanced 3D measurement asset) 도 함께 제공됩니다. LSA100은 고급 자동화 기술을 활용하여 정확하고 반복 가능하며 정확한 처리를 보장합니다. 프로그래밍 가능한 모션 제어 모델을 사용하면 고급 이미지 기반 프로세스 제어를 이용할 수 있습니다. 또한 이 장비에는 복잡한 보고 기능이 있어 운영 중 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, ULTRATECH LSA 100은 사용자에게 다양한 기판 및 웨이퍼 크기에 대한 탁월한 정확성과 정확성을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 자석 리프트 시스템, 레이저 간섭계 기반 정렬 장치, 공정 제어 기계, 고급 자동화 기술로 인해 사진 식자술 (photolithography) 및 노출 응용 분야에 적합합니다. 이 툴은 최상의 이미지 품질, 프로세스 안정성, 탁월한 처리량을 제공하도록 설계되었습니다.