판매용 중고 ULTRATECH CGS-300 #9397353

ULTRATECH CGS-300
ID: 9397353
Stress measurement system.
ULTRATECH CGS-300 Wafer Stepper는 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 사진 촬영 도구입니다. "실리콘 웨이퍼 '의 아주 작은 부품 과" 칩' 에 무늬 를 만드는 데 사용 된다. 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 방법을 사용하여 매우 작은 규모의 복잡한 디자인을 만듭니다. CGS-300 Wafer Stepper는 다음으로 구성된 전체 필드 스텝 및 반복 리소그래피 장비입니다. 기판을 회전시켜 직접 노출될 패턴을 정확하게 정렬하는 스테퍼 모터 (stepper motor) 패턴 프로젝터 헤드 (웨퍼 기판에 패턴을 투사하는 초고해상도 이미징 광학 기능) 이미징 광학 시스템 아래에서 기판을 이동하는 데 사용되는 통합 스테이지/기판 홀더 (integrated stage/substrate holder) 온도의 안정성을 유지하기 위한 내장형 히터 및 재순환기 전담 전원 공급 장치가 장착된 액정 레티클 장치로서, 빠른 속도와 정확한 패턴 위치를 제공합니다. 패턴 프로젝터 헤드를 정확하게 배치하는 닫힌 루프 모터가있는 고정밀 제어 장치 ULTRATECH CGS-300 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 의 패턴 프로젝터 헤드에는 웨이퍼 기판에 정확한 패턴을 투사하는 고출력 UV 레이저 다이오드가 있습니다. 위치 정밀도가 0.5 미크론 이내로 정확하므로, 패턴 크기와 위치를 쉽게 조정할 수 있습니다. 기계는 최대 해상도 0.25 미크론 (micron) 을 가능하며 큰 기판에서 직경 6 인치까지 패턴을 그릴 수 있습니다. CGS-300 웨이퍼 스테퍼는 고급 반도체 장치 제작, 전자 회로 보드 및 MEMS 제작을 포함한 다양한 마이크로 일렉트로닉스 제조 응용 분야에 적합합니다. 즉, 높은 처리량과 안정적인 성능을 제공하여 반도체 프로세싱과 관련된 비용을 절감할 수 있습니다. ULTRATECH CGS-300 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 기존 반도체 생산 라인에 쉽게 통합 될 수 있으며, 일반적으로 사용되는 다양한 재료와 시약과 함께 사용할 수 있습니다. 유지 보수가 가능하도록 설계되었으며, 안정적이고 정확한 성능을 제공합니다. 전반적으로 CGS-300 웨이퍼 스테퍼 (CGS-300 Wafer Stepper) 는 다양한 마이크로 일렉트로닉스 제조 응용 프로그램에 대해 매우 정확하고 정확한 사진 사진 이미지를 제공하는 고급 웨이퍼 처리 도구입니다. 다양한 기능과 기능으로, 안정적이고 효율적인 운영을 보장합니다. 이 도구의 고정밀 제어 및 반복 성능은 반도체 생산라인을 위한 안정적이고 비용 효율적인 선택입니다.
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