판매용 중고 ULTRATECH AP200 #9307527

ULTRATECH AP200
ID: 9307527
Stepper.
ULTRATECH AP200은 고급 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 설치 작업이 쉽고 유지 보수가 적으며, 고해상도 광학 (optical) 성능을 제공하므로 복잡한 구성 요구 사항을 충족할 수 있습니다. ULTRATECH AP 200은 모터 구동 회절 격자 장비를 사용하여 이중 조리개 시스템을 통해 2 레벨 광학 전력 분배를 생성합니다. 이 기술은 광학 수차를 제거하면서 고해상도 이미징 기능을 제공하고 이미지 처리 시간을 단축합니다. 또한 AP200은 기본 제공되는 정렬 (alignment) 및 스테이지 제어 (stage control) 기능을 제공하여 노출 중에 레티클의 정확한 위치와 정렬을 보장합니다. AP 200의 역학에는 제품별 조절 가능 웨이퍼 스테이지, 모터 구동 레티클 스캐너, 모터 구동 웨이퍼 인덱서 장치 및 웨이퍼 처리를 위한 로드 록 메커니즘이 포함됩니다. 스캐너의 각도, 속도 및 단계 수는 각기 다른 리소그래피 (lithography) 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한, 붐 리프트 돌리를 통해 기술자는 스테퍼를 한 영역에서 다른 영역으로 이동할 수 있습니다. 또한 ULTRATECH AP200은 온도 조절, 전력 보호, 진동 감쇠, 청소실 작동을위한 기타 보호 시스템 등 여러 환경 보호 메커니즘을 제공합니다. 진공 기반 먼지 여과기가있는 광경로에서 먼지 입자 및 기타 오염 물질 (contaminant) 을 제거 할 수 있습니다. 이 도구는 스크래치, 얼룩, 리소그래피 결과에 영향을 줄 수있는 기타 가시 오염 물질을 방지합니다. ULTRATECH AP 200의 기능이 풍부한 디자인은 전통적인 석판화 솔루션에 비해 강력한 장점을 제공합니다. 이미징 속도 향상, 수차 지우기, 다양한 보호 시스템 (protective system) 을 통해 탁월한 정확성과 효율성으로 고급 어플리케이션을 수행할 수 있습니다. 이 스테퍼는 고급 리소그래피 솔루션을 찾는 모든 사람에게 적합한 선택입니다.
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