판매용 중고 ULTRATECH AP200 #293630413

ULTRATECH AP200은 집적 회로 제작에서 정확한 리소그래피를 위해 설계된 다차원, 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 혁신적인 머신은 400nm 해상도의 웨이퍼 (wafer) 에 패턴을 정확하게 배치할 수 있으며, 정확한 반복성을 갖춘 직접 이미징 (direct imaging) 기술을 사용합니다. ULTRATECH AP 200에는 X, Y 및 Z 축으로 이동 할 수있는 2 차원 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 단계는 정확하고 조용한 3 개의 다이렉트 드라이브 (direct drive) 모터에 의해 작동되며, 웨이퍼의 효율적인 위치를 제공합니다. 스테퍼에는 이중 레벨 프로세스 컨트롤러, 여러 개의 풀 프레임 영역 및 FPGA (field-programmable gate array) 도 있습니다. 이러한 모든 구성 요소는 함께 작동하여 성공적인 리소그래피 실행에 필요한 고정밀 정렬, 정밀 오버레이, 반복 성능 (repeatability performance) 을 제공합니다. 정확한 모션 제어 외에도, AP200은 고급 이미징 기능도 갖추고 있습니다. 풀 프레임 인터 라인 전송 CCD (charge-coupled device) 카메라와 다양한 작은 필드 크기에서 정확한 이미징을 제공하는 LED (array of light emitting diode) 가 특징입니다. 다른 노출 필드 (Exposure Field) 크기 사이를 전환하기 위해 LED (LED) 를 켜거나 끌 수 있으며, 카메라는 오류가 발생하지 않도록 전체 영역을 모니터링하는 데 사용됩니다. 리토 그래피 (lithography) 실행 중 가장 높은 정확도를 보장하기 위해 AP 200에는 수많은 고급 도량형 및 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 자동 초점 (auto-focus) 및 자동 정렬 (auto-alignment) 기능이 포함되어 있습니다. 또한 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling mechanism) 를 사용하여 손상이나 오염의 위험없이 웨이퍼를 정확하게 배치하고 제거할 수 있습니다. 요약하자면, ULTRATECH AP200은 집적 회로의 제작에서 정확한 리소그래피를 위해 설계된 다차원, 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 정확한 반복 가능성, 2 차원 스테이지, 고급 이미징 기능, 풀 프레임 인터 라인 전송 CCD 카메라, LED 표시등 배열, 자동 초점 및 자동 정렬 기능, 안전하고 효율적인 웨이퍼 처리 메커니즘이 특징입니다. 이러한 모든 기능을 통해 모든 리소그래피 요구 사항에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.