판매용 중고 ULTRATECH AP 300 #9248655

ULTRATECH AP 300 웨이퍼 스테퍼는 오늘날 가장 고급 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다. 나노 미터 수준에서 대용량 웨이퍼를 매우 정밀하게 패턴화하도록 설계되었습니다. 이 장비에는 높은 공정 속도 (process rate) 에서도 최고 수준의 정확성과 반복성을 유지하는 고정밀 다이어프램 펌프 (diaphragm pump) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템의 대용량 스테이지 사이즈는 대형 샘플의 처리량 (high-throughput) 패턴화와 웨퍼 (wafer) 의 전체 피쳐 세트를 정확하게 배치할 수 있습니다. 울트라 테크 AP300 (ULTRATECH AP300) 은 오픈 루프 (open-loop) 및 클로즈드 루프 (closed-loop) 컨트롤을 모두 갖춘 고급 모션 제어 플랫폼을 갖추고 있어 장치의 반복성과 정밀도를 최대한 제어할 수 있습니다. 이 기계는 또한 초정밀 속도 제어를 위해 ULTRATECH 특허 PWM (Pulse Width Modulation) 모터와 함께 위치 피드백을위한 초정밀 레이저 간섭계를 갖추고 있습니다. 이를 통해 전체 웨이퍼 표면에서 정확하고 반복 가능한 나노 미터 스케일 패턴화가 가능합니다. AP 300은 프로세스를 신속하게 설정할 수 있는 다양한 기능을 사용합니다. UV, KrF, e-beam 등을 포함한 여러 리소그래피 기술과 호환됩니다. 이 도구를 사용하여 패턴 에치 (etch), 임계 치수 정의, 3D 패턴의 생성 등을 지정할 수 있습니다. 또한 자동 패턴 생성 (automated pattern creation) 자산을 활용하여 새로운 프로세스를 신속하게 구성할 수 있습니다. AP300에는 여러 가지 안전 및 환경 기능도 포함되어 있습니다. 이 모델에는 안전 컷 아웃 (safety cut-out) 이 포함되어 있으며, 무언가가 잘못되면 자동으로 종료되고 환경 오염 물질을 최소화하기위한 예방 조치가 가능합니다. 또한, 장비는 자동으로 정리 (cleaning), 마모 및 눈물 확인 (check for wear and tear) 과 같은 정기 유지 관리를 수행하여 시스템의 수명을 연장하는 데 도움이됩니다. 전반적으로, ULTRATECH AP 300 웨이퍼 스테퍼는 큰 표면에서 업계 최고의 패턴화 정밀도를 제공하기 위해 강력하고, 안정적이며, 매우 정밀한 장치입니다. 첨단 모션 컨트롤 머신 (Advanced Motion Control Machine) 은 매우 반복적으로 정확한 기능을 포지셔닝할 수 있는 반면, 자동화된 패턴 생성 툴과 안전 (Safety) 기능을 통해 프로세스를 빠르고 안전하게 실행할 수 있습니다. 울트라 테크 AP300 (ULTRATECH AP300) 은 나노 미터 수준의 패턴화 정확도를 달성 할 수 있으며, 대형 웨이퍼의 빠르고 정확한 패턴화에 이상적입니다.