판매용 중고 ULTRATECH AP 300 #293631544
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ID: 293631544
Stepper
Environmental chamber
Extended field target: 2 µm
GHI-Line auto filter changer
Broadband lens
Dual lamp illuminator, 1200 W
FOSB Cassette to cassette handler
FOUP Wafer handler
Test reticle: 6x6
Wafer thickness: 0.4 mm to 2 mm
PatMax MVS Alignment spectrum: 530 nm - 570 nm
6-Slots reticle stack
Front loading: Manual
Enhanced bottom pellicle protection
Edge exclusion with exclusion ring size, 15 mm
Closed loop cooling
Prism purge kit
Power supply: 208 V, 150 A, 3-Phase, 5-wire.
ULTRATECH AP 300은 대용량 사진 분석 응용 프로그램을 위해 설계된 스텝 앤 리피트 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 포토 마스크 (photomask) 에서 웨이퍼 (wafer) 로 패턴을 정확하게 투영 및 전송함으로써 안정적이고 정확한 FOV (Vertical Field Of View) 웨이퍼 스테퍼를 생산하도록 설계되었습니다. 해상도는 0.25jm, 최소 기능 크기는 0.17jm, 초점 변형은 0.008m입니다. ULTRATECH AP300의 최첨단 엔지니어링은 미세 정렬 웨이퍼의 경우 0.35 초, 미세 정렬 웨이퍼의 경우 0.9 초로 원형으로 업계 최고의 속도를 제공합니다. 게다가, 시간당 최대 10,000 웨이퍼를 생산하는 능력은 시간과 비용 효율적인 기계입니다. 웨이퍼 스테퍼는 매우 정교하고 정확한 전동 X-Y 단계에 의해 구동됩니다. 전동 스테이지는 서브 나노 미터 해상도와 포지셔닝 정확도 0.2m를 특징으로합니다. 이 강력한 모터는 장치의 고속 (high-speed) 동작이 정의된 정밀도 내에 유지되도록 도와줍니다. 이렇게 하면 웨이퍼 스테퍼 응용 프로그램의 처리량을 늘리는 데 도움이 됩니다. AP 300에는 HD 12.7형 700 TVLine 컬러 모니터와 3D 뷰 시스템이 내장된 내구성과 컴팩트한 주택 디자인이 포함되어 있습니다. 시청 시스템은 운영 중단 없이 리소그래피 (lithography) 프로세스를 모니터링하고 검사하는 데 적합합니다. 또한, 시청 시스템은 정교한 광학과 통합되어 정확도 2m와 시야가 860 ~ 1200 인 웨이퍼 (wafer) 를 검사 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 사용을 최적화하기 위해, AP300은 사용자에게 친숙한 소프트웨어로 설계되었으며, 이를 통해 사용자는 다양한 작업을 프로그래밍할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 MEL (Manufacturing Engineering Language) 과도 호환되므로 사용자가 효율적으로 작업을 제어할 수 있습니다. 강성, 정확성 및 작동 속도를 위해 ULTRATECH AP 300은 효율적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체, 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 및 기타 관련 산업에 적용되어 일관성과 생산성이 향상된 포토 마스크 전송을 생산합니다.
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