판매용 중고 ULTRATECH AP 300 #293605731

ULTRATECH AP 300 Wafer Stepper는 최대 6 "의 단일 웨이퍼 처리를 제공하는 고급 고성능 스테퍼입니다. 리소그래피, 포토 esist 코팅 및 개발, 습식 에칭, 확산 및 이온 임플란테이션 등 다양한 프로세스에 걸쳐 16 비트 위치 해상도로 최소 1.25äm 반복 가능 오버레이 등록 정확도를 수행 할 수 있습니다. ULTRATECH AP300은 고해상도, 공기를 장착한 GDI (Gaseous Discharge Illumination) 장비를 사용하며, 왜곡없이 자유롭게 빛을 전달할 수있는 이중 수준의 광학 피드 스루 설계를 갖추고 있습니다. 브리징, 스캐닝, 포커스/용량/타이밍, 정확한 PAL/ESM 제어 등의 고급 기술을 통해 최고 해상도와 오버레이 정확도를 달성할 수 있습니다. 따라서 기판을 최대 6 "로 표시하고 노출시키는 데 특히 적합합니다. AP 300은 용접 공정을 수행 할 수있는 aninert 고 진공 챔버를 제공합니다. 이 시스템은 Optical Feedthrough 및 강력한 Multi-ARC (Automatic Reticle Centering) 제어 장치와 연동하여 뛰어난 성능과 정확도를 제공합니다. 스테퍼는 Data Conversion 및 Booster Load와 같은 고급 프로세스 모드를 통합 할 수 있습니다. 데이터 변환 (Data Conversion) 모드는 슬라이스 데이터를 3D 프로세스 데이터로 변환하고 자동 매핑 및 처리 응용 프로그램을 허용합니다. 부스터 하중 (Booster Load) 모드는 다양한 기판 재료에 안정적이고 연속적인 하중 곡선을 제공하여 수율과 처리량을 향상시킵니다. AP300은 고급 디지털 스캐너 머신 (Digital Scanner Machine) 으로 구동되며 높은 정확성과 빠른 개발 시간을 제공합니다. 이 도구는 고속, 8비트 DSP (Digital Signal Processor) 를 특징으로 하며 사용자 친화적인 제어를 위한 6개의 조절 가능한 노브를 제공합니다. 이 자산에는 탁월한 성능과 정확도를 제공하는 정밀 고해상도 (고해상도) 이미지가 장착되어 있습니다. ULTRATECH AP 300은 또한 반사 방지 코팅을 자랑하여 표면 반사를 줄이고 레이저 패턴의 명확한 투영을 보장합니다. 또한, ULTRATECH AP300에는 챔버 내의 잔류 가스를 안전하고 신속하게 제거하도록 설계된 비상 플러시 (Emergency Flush) 모델도 장착되어 있습니다. 또한 장애 발생 시 또는 오작동 시 운영자에게 알리고 경고하도록 설계된 '장애 디스플레이 (fault display)' 가 내장되어 있습니다. AP 300은 탁월한 성능과 정확성을 필요로 하는 사용자에게 완벽한 도구입니다. 첨단 기술과 사용자 친화적 설계를 통해 통합 회로 (Integrated Circuit) 제작 프로세스에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.