판매용 중고 ULTRATECH AB200 #9181879

ULTRATECH AB200
ID: 9181879
Wafer stepper.
ULTRATECH AB200은 반도체 웨이퍼 제작을 위해 설계된 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 4 축, 브러시가없는 선형 모터 시스템으로 구동되며 피드백 제어를 위해 고정밀 인코더를 사용합니다. AB200은 4, 5, 6 및 8 인치를 포함한 다양한 웨이퍼 크기에 대한 빠른 변경, 슬림 렌즈 시스템을 갖추고 있습니다. 정밀한 레벨링 및 균일 한 픽업을 위해 조정 가능한 Z축과 동력 척이 있습니다. 웨이퍼는 조절 가능한 보안 진공 척으로 제자리에 고정되어 있습니다. ULTRATECH AB200의 기능에는 활성 광 정렬, 웨이퍼 자동 감지 및 전면 스캔, 스테퍼 치수 정렬, 완전한 자동 초점 및 소프트웨어 기반 자동 레티클 정렬 루틴 (모두 뛰어난 정확도와 속도를 제공합니다. 래스터, 직선 및 벡터 선택을 포함한 가장 일반적인 photolithography 이미징 형식을 지원합니다. 안전성 측면에서 AB200은 이중 단계 기술을 사용합니다. 이 시스템은 웨이퍼를 로드 및 언로드하는 동안 안전 (Safety) 을 보장하기 위해 스테퍼에 지속적으로 신호를 보냅니다. 또한 ULTRATECH AB200은 오염을 방지하기 위해 고급 그릿 블라스팅 보호 기능을 제공합니다. AB200 은 효율적이고 안정적인 반도체 웨이퍼 프로세싱을 제공하므로 wafer dicing, device characterization, IC testing 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 동력 Z축은 각 웨이퍼 표면에서 균일 한 처리를 위해 정확한 Z 높이 설정을 지원합니다. 그리고 조정 가능한 진공 척 (vacuum chuck) 은 각 웨이퍼 크기에 맞게 최적화되고 안전합니다. ULTRATECH AB200은 다양한 어플리케이션에 적합한 비용 효율적이고 안정적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 정확도와 탁월한 안전 기능을 제공하여 신뢰할 수 있는 반도체 웨이퍼 (wafer) 처리 도구를 제공합니다.
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