판매용 중고 ULTRATECH 2244i #9397143

ULTRATECH 2244i Wafer Stepper는 최대 6 인치까지 단일 웨이퍼 처리를 위해 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 스테퍼는 스테퍼 모터 기술을 사용하여 매우 정확하고 반복 가능한 노출 시간을 허용합니다. 스테퍼 시스템은 또한 0.1 미크론 순서의 해상도로 5 미크론까지 기능 크기를 포함합니다. 장치의 주요 구성 요소는 stepper 엔진, 이미지 인코더, 웨이퍼 핸들러, 포커서, 공준기 및 셔터입니다. 스테퍼 엔진은 폐쇄 루프 제어기 (closed loop control machine), 모터 및 모터 드라이브 (motor drive) 및 노출 시간 동안 스테이지를 정확하게 배치하는 인코더로 구성됩니다. 인코더는 이미지 위치를 등록하여 매우 정확하고 반복 가능한 노출 시간을 허용하며, 웨이퍼 핸들러는 최대 200mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 포커서는 2 축 메커니즘을 사용하여 전체 노출 분야에서 일관된 초점을 유지합니다. 냉각기 (colimator) 는 진공 냉각되어 패턴 모서리의 원치 않는 노출을 최소화하고 패턴 노출의 해상도를 높이도록 설계되었습니다. 셔터는 전자적으로 작동하며 선명한 이미지를 확보하고 이미지 중첩 아티팩트를 최소화하도록 설계되었습니다. 2244i 는 가장 까다로운 애플리케이션에 고급형, 매우 정확한 회로 패턴을 제공합니다. 이 스테퍼는 EBL (Electron Beam Lithography), DUV (Deep Ultraviolet), UV (Ultraviolet) 및 EBW (E-Beam Writer) 와 같은 표준 프로세스와 호환됩니다. 수동 (manual) 및 자동 (automatic) 데이터 처리 방법은 물론, 스테퍼 구성을 완벽하게 제어할 수 있는 소프트웨어도 제공됩니다. 안전 기능은 운영자와 스테퍼 (예: 안전 인터 록, 비상 정지, 가청 경보 및 외부 타이머) 를 모두 보호하기 위해 통합됩니다. 이 도구는 또한 전력 소음 및 간섭 방지 (interference protection), 짧은 회로 보호 (short circuit protection) 및 과온 제어로 설계되었습니다. ULTRATECH 2244i Wafer Stepper는 까다로운 어플리케이션을 위해 설계된 잘 설계된 고성능 단일 웨이퍼 프로세서입니다. 이 자산은 정교한 스테퍼 모터 구동 단계 (stepper motor-driven stage) 와 인코더로 인해 고해상도와 정확한 노출 시간을 가지고 있습니다. 또한 비상 정지 (Emergency Stop) 및 경보 (Alarm) 와 같은 안전 기능으로 설계되어 웨이퍼 처리를 위한 안전하고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 이 모델의 고성능 (HPI) 및 안정성은 가장 까다로운 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.