판매용 중고 ULTRATECH 2244i #9182056

ULTRATECH 2244i Wafer Stepper는 이미징 웨이퍼에 대한 탁월한 수준의 정확도를 제공하는 정밀 석판화 도구입니다. 이 다재다능한 장비는 마스크 대 웨이퍼 정렬을위한 엑시머 레이저 (excimer laser) 와 고해상도 이미징을위한 정밀 스테퍼 (precision stepper) 가있는 스텝 앤 반복 현미경을 특징으로합니다. 2244i는 Zeiss optics 시스템, 고급 litho-optical 디자인 및 용도에 맞게 설계된 구성 요소를 사용하여 이미지 해상도가 20 nm 미만인 가장 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장치는 모든 업계 표준을 준수하며 24/7 wafer 애플리케이션 생산을 위해 안정적인 운영을 제공합니다. ULTRATECH 2244i 는 정밀하고 반복 가능한 패턴 정렬 및 오버레이 (overlay) 를 위한 다이렉트 드라이브 (direct-drive) 동력 마스크 스테이지와 높은 수준의 자동화 및 반복성을 보장하는 웨이퍼 스테이지용 정밀 모션 유닛으로 구성됩니다. 두 쌍의 반대 선형 동작 액추에이터가 장착 된 다이렉트 드라이브 (direct-drive) 모터 구동 테이블을 사용하여이 플랫폼은 '스프링 유사 (spring-like)' 작동과 빠른 정밀도 및 재현성으로 매우 정확한 움직임을 달성 할 수 있습니다. 또한 적절한 이미지 정렬 및 등록을 위해 '헤드 온 (head-on)' 정렬 스캐너가 포함됩니다. 2244i 는 Optimized Imaging Optic, Refector, Aperture 및 Condensor 를 비롯한 고급 광 구성요소를 활용하여 뛰어난 성능과 정확성을 보장합니다. 이 기계는 160mm 초점 거리 (focal length) 와 254mm (working distance) 를 매우 수용하도록 설계되어 광범위한 웨이퍼 크기와 형상과의 호환성을 제공합니다. 광학 (Optics) 도구에는 통합 안정화된 광학 경로가 장착되어 있어 환경 변동의 영향을 최소화합니다. 스캐닝 조리개 (scanning aperture) 가 2 미크론 정도 작은 웨이퍼 (wafer) 의 망막에 정확한 정렬 및 패턴 오버레이를 위해 통합 레이저 정렬 에셋이 포함되어 있습니다. 이 모델의 PC 기반, 사용자 친화적 인 디지털 제어 장비를 사용하면 노출 시간, 레이저 전원, 셔터 속도 등 모든 이미징 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이것은 전체 기판에서 뛰어난 이미지 충실도와 반복성을 보장합니다. 전반적으로 ULTRATECH 2244i Wafer Stepper는 정확성과 반복성을 갖춘 다양한 어플리케이션을 수행하도록 설계된 고급 석판화 도구입니다. 다목적 구성은 기판에 복잡한 패턴을 만들고, 뛰어난 정확도와 이미지 해상도를 제공하는 데 이상적입니다.