판매용 중고 ULTRATECH 2244i #293690209

ULTRATECH 2244i 스테퍼는 다이 및 웨이퍼 스테퍼 응용 프로그램을위한 고도의 정밀 석판 도구입니다. 뛰어난 해상도, 균일성, 반복성을 제공하면서 빠르고 정확한 웨이퍼 및 다이 정렬을 제공하도록 설계되었습니다. 최대 600 mm/sec 의 스캔 속도로 2244i 는 다양한 까다로운 이미징 요구 사항을 처리할 수 있습니다. 울트라 테크 2244i (ULTRATECH 2244i) 는 최대 10mm의 대형 스캔 범위와 0.5 m 이상의 해상도로 높은 수준의 이미지 충실도를 달성하도록 설계되었습니다. 전동식, 정밀 광학 마스크 정렬 장비와 분할 필드 정렬 (split-field alignment) 은 광학의 초점과 이득을 빠르고 정확하게 조정하여 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 형상의 차이를 보완합니다. 이 시스템은 또한 고성능 조명 제어 (illumination control) 와 다양한 조명 패턴을 제공하여 고해상도 이미징을 지원합니다. 2244i는 최첨단 광역학 디자인을 사용합니다. 동적 범위가 높은 ServoPiezo Motion Control Unit은 고정밀 스캔 및 이미징 응용 프로그램에서 저소음 작동 및 신속한 해결 시간을 제공합니다. 프로그래밍 가능한 고해상도 스테이지는 서브 미크론 증분 동작 제어 (sub-micron incremental motion control) 가 가능하며, 머신은 빠른 다이 점프를 위해 빠른 단계 및 반복 이미지 등록을 제공합니다. ULTRATECH 2244i 어댑터를 사용하면 도구에 200mm 및 300mm 반도체 웨이퍼를 빠르고 쉽게 로드할 수 있습니다. 다용도 소프트웨어 (Software) 와 고급 자동화 (Automation) 옵션을 통해 광범위한 로봇 및 자동화 시스템과 통합할 수 있습니다. 에셋은 또한 최대 150 ° C의 프로그래밍 가능한 온도 환경을 갖춘 최적화 된 대기를 제공합니다. 2244i 는 비용이 많이 들고 시간이 많이 드는 광 조정을 필요로 하지 않으며, 처리량을 극대화하는 빠르고 정확한 이미징을 위한 이상적인 플랫폼을 제공합니다 (영문). 탁월한 이미지 정확성과 균일성으로 인해 운영 수준 애플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.