판매용 중고 ULTRATECH 2244i Series #293628682

ID: 293628682
웨이퍼 크기: 4"-8"
Stepper, 4"-8" G&H Line optics Lamp, 1000 W Extended focus option for thick resist exposure capability GENMARK Robot Reticle, 5" (Capable of upgrading to 6") Reticle barcode reader COGNEX Machine Vision System (MVS) Maximum FOV: 44 mm x 26.7 mm Numerical aperture: 0.32 Auto aperture.
ULTRATECH 2244i Series는 최첨단 와퍼 스테퍼로, 가장 발전된 광석기 공정을 위해 설계되었습니다. 최대 웨이퍼 크기 (200mm) 를 처리 할 수있는 신뢰성이 높은 풀 사이즈 웨이퍼 스테이지가 특징입니다. 이 시스템은 고급 1축 스캐너 설계를 통해 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 0.74 NA 프로젝션 광학을 사용하여 2 단계 스캐너는 최대 1 나노 미터의 빔 위치 정밀도를 통해 고해상도와 고속 스캐닝을 모두 제공합니다. ULTRATECH 2244i (ULTRATECH 2244i) 는 또한 다양한 노출 필드 크기와 노출 시간을 스캔할 수 있으므로 다양한 사진 분석 프로세스에 적합합니다. ULTRATECH 2244i는 또한 고급 옵틱을 사용하여 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat), 연속 라인 및 영역 래스터 스캔을 포함한 다양한 스캐닝 모드를 제공합니다. 또한 렌즈 정렬, 노출 및 확대/축소 설정을 자동화하여 일관되고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 시스템에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 표시하는 10형 컬러 터치스크린 인터페이스 (Color Touchscreen Interface) 가 있는 사용자에게 친숙한 제어판이 있습니다. 이를 통해 수많은 스캔 및 노출 매개변수가 신속하게 설정될 수 있습니다. 일괄 처리 (batch processing) 및 아카이브 (archived) 노출 설정이 가능합니다. 사용자는 노출 레시피를 만들고 스캐너의 라이브러리에 저장할 수도 있습니다. 또한 ULTRATECH 2244i 는 여러 가지 백사이드 처리 모드, 자동 초점 인식, 정렬 정확도 제어 등 다양한 프로세스 지원 툴을 제공합니다. 이 제품은 ULTRATECH 프로세스 제어 소프트웨어와 완벽하게 호환되며, 프로세스 제어 및 시뮬레이션 기능을 추가로 제공합니다. 또한, ULTRATECH 2244i에는 고급 마운트 로봇 모듈이 포함되어 있어 빠르고 효율적인 웨이퍼 처리가 가능합니다. 또한 효과적인 오염 물질 보호 시스템을위한 클린 챔버 (clean chamber) 옵션이 있습니다. 전체적으로, ULTRATECH 2244i는 사용자에게 사진술을위한 강력하고 정확한 도구를 제공합니다.
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