판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9399241
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ULTRATECH 1500은 반도체 장치 제조에 사용되는 고정밀도 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 등록 마스크 (Mask Registration) 를 제공하고 오늘날 가장 복잡한 마이크로 칩 설계에 탁월한 광학 오버레이 정확성과 안정성을 제공하는 뛰어난 웨이퍼 (Wafer) 및 웨이퍼 (Wafer) 를 제공하도록 설계되었습니다. 1500 은 고급 옵틱 (optic), 모션 컨트롤 (motion control), 모션 메카닉 (motion mechanics) 및 소프트웨어 기술의 고유한 조합을 사용하여 고급 디바이스 제작에 필요한 높은 정확도와 초정밀도를 제공합니다. 고급 광학에는 앵커링 격자 단계 (anchoring grating stage) 가 포함되어 있어 특허를받은 오프 축 이미징 장비를 사용하여 높은 정확도, 반복 가능한 기판 위치 및 연속적인 곡률 의존적 이미지 교정이 가능합니다. 이 시스템은 또한 통합 자동 초점 (auto-focus) 및 자동 수정 (auto-correction) 기능을 사용하여 변화하는 기판 표면을 사용하여 높은 웨이퍼 (wafer) 및 웨이퍼 (wafer) 를 유지하여 등록 정확도를 마스크 처리합니다. ULTRATECH 1500 은 가장 진보된 모션 컨트롤 (motion control) 과 메카닉 (mechanics) 기술을 활용하여 높은 정확성, 반복성 및 속도를 달성하는 동시에 가장 작은 기계적 움직임을 제공합니다. 여기에는 매우 낮은 마찰과 매우 낮은 온도 감도를 가진 고정밀 (high-precision) 선형 모터 (linear motor) 를 사용하면 높은 반복성과 높은 속도를 제공하여 최적의 처리량을 보장할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 독점 모션 제어 알고리즘을 기반으로 한 매우 정확한 듀얼 드라이브 모션 컨트롤 유닛 (dual-drive motion control unit) 과 매우 정확하고 부드러운 모션을 가능하게 하는 고성능 서보 모터 머신 (machine of high-performance servo motor) 을 통합합니다. 1500 은 보다 효율적인 패턴 작업 (patterning operation) 을 가능하게 하는 알고리즘과 소프트웨어 기술의 독특한 조합으로 인해 다른 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 와 분리됩니다. 예를 들어, ULTRATECH 1500에는 자체 공간 필터 기술을 사용하여 패턴 노이즈 오염 및 양자 노이즈 효과 (quantum noise effects) 를 줄이기 위해 자체 공간 필터 기술을 사용하는 내부 개발 고밀도 패턴 (high-density patterning) 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 또한 1500 은 최상위 프로세스 자동화 소프트웨어와 통합되어 하이엔드 기능 제어 지원, 시스템 처리량 향상, 온라인 모니터링/향상 등의 이점을 제공합니다. 이 모든 고도로 정교하고 고성능 기술은 동급 아이템 간 오버레이 (item-to-item) 의 정확성과 프로세스 정확성을 보장합니다. ULTRATECH 1500은 웨이퍼 스테퍼의 업계 표준을 설정하고 있습니다. 고급 옵틱 (Optic), 모션 컨트롤 (Motion Control), 메카닉 (Mechanics), 강력한 소프트웨어 기술과 함께, 오늘날 가장 복잡한 반도체 장치의 생산에 최적화된 고성능, 저렴한 비용 및 향상된 프로세스를 제공합니다.
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