판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9390404
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울트라 테크 1500 웨이퍼 스테퍼 (ULTRATECH 1500 Wafer Stepper) 는 반도체 산업에 사용되는 기계로, 포토 마스크 또는 레티클에서 민감한 웨이퍼에서 IC 매트릭스로 패턴의 정확하고 정확한 전송을 위해 사용됩니다. 스테퍼 제어 시스템, 쿼츠 조명 및 안정적인 X/Y 감소 스캐너를 갖춘 고급 멀티 레이어 머신입니다. 1500은 2 개의 마스크 레이어에서 0.25 미크론의 기능을 갖춘 이미지를 만들 수 있습니다. ULTRATECH 1500은 라이메이터 렌즈가있는 쿼츠 램프 (quartz lamp) 를 사용하여 웨이퍼의 정확한 노출을 보장합니다. 광원은 photomask 칩 패턴의 정확한 크기와 IC 의 피쳐 크기에 맞도록 보정됩니다. 레티클 (reticle) 은 스테퍼 (stepper) 에 배치되고 웨이퍼 (wafer) 는 스테퍼 (stepper) 에 공급되며, 그 아래 쿼츠 램프 (lamp) 가 투사되는 동안 스캔됩니다. 검색이 완료되면 웨이퍼 (wafer) 를 더 에칭하고 금속화하여 회로를 형성 할 수 있습니다. 1500 의 스테퍼 제어 시스템 (stepper control system) 은 최고의 생산 속도, 제품 수율 손실 최소화, IC 의 정확한 배치 보장 등을 위해 구성 될 수 있습니다. 이 "프로그램 '은" 스테퍼' 의 작업 을 자동화 하여 반복 할 수 있는 결과 를 내는 복잡 한 "프로그램 '가능 한 명령 들 과 함께 제공 된다. 조명기 및 조명기 조합은 서브 미크론 정확도와 반복 성을 제공하는 반면, 노이즈 억제 (noise suppression) 는 진동 오류를 제거합니다. 이를 통해 최상급 등록 및 라인 너비 제어가 보장됩니다. ULTRATECH 1500은 인쇄, 에칭, 금속화 등 여러 생산 프로세스에 적합한 다용도 장치입니다. 단순화 된 프로그래밍 및 작동을위한 직관적 인 사용자 인터페이스가 있습니다. 더 높거나 낮은 배율과 포토 마스크 레티클 이미징 (photomask reticle imaging) 의 정확한 감소를 위해 스테퍼를 쉽게 조정할 수 있습니다. 1500은 핸드 액세서리, 내장 정렬 마크, 캠 센서를 지원하여 정렬 정확도 및 반복성을 높입니다. 울트라텍 1500 (ULTRATECH 1500) 은 안정적이고, 안정적이며, 정확하며, 반도체 생산 산업에서 강력한 장치로 두드러집니다. 요약하면, 효과적인 웨이퍼 스테퍼로, 뛰어난 감소 이미징, 정확하고 반복 가능한 photomask 패턴 전송, 향상된 처리량을 제공합니다.
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