판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9303089

ULTRATECH 1500은 반도체 생산에 사용되는 강력하고 정확도가 높은 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것 은 "웨이퍼 '의 표면 에" 패턴' 을 만드는 광원 에 노출 시킴 으로써, 빠른 속도 와 정밀도 로 "웨이퍼 '를 정확 하게 처리 하도록 설계 되었다. 동일한 프로세스에서 매우 정밀하고 복잡하게 완전히 집적된 회로를 제작하는 데 사용할 수 있습니다 (영문). 1500 은 스테퍼 플랫폼 (stepper platform) 과 리소그래피 제어 장치 (lithography control unit) 로 구성되어 있으며, 스테퍼 (stepper) 에 연결되어 이미지를 웨이퍼에 전달합니다. 고도로 상세하고 정확한 패턴을 만들기 위해 구조물을 웨이퍼 (wafer) 에 정확하게 정렬할 수 있도록 하는 사전 설정 (Pre-set) 정렬 장비가 포함되어 있습니다. 또한 초점 (focus) 과 스테퍼 (stepper) 정렬기가 함께 제공되므로 패턴의 초점과 크기가 정확합니다. 정렬 정확도는 0.1 미크론보다 우수하며 패턴 크기의 정밀도는 0.5 미크론보다 클 수 있습니다. 따라서 복잡하고 작은 전자 회로를 쉽게 만들 수 있습니다. 울트라텍 (ULTRA) 1500에는 웨이퍼 지형과 열 효과로 인한 왜곡을 최소화하는 초고해상도 안정화된 광학 시스템이 장착되어 있습니다. 광학 장치는 웨이퍼를 최대 10 ~ 20 mJ/cm2의 에너지로 노출 할 수 있으며, 이는 경쟁 장비보다 훨씬 높습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 자동 정지 및 노출 제어 기능이 제공되며, 이는 스테퍼가 웨이퍼를 과다 노출하거나 손상시키지 않도록 합니다. 1500은 또한 수리 및 유지 관리 절차면에서 고도로 발전했습니다. 수작업을 최소화해야 하며, 제조업체는 생산성을 높이고 다운타임을 줄일 수 있습니다. '자동 장애 감지 (automatic fault detection)' 와 '자체 진단 (self-diagnosis)' 같은 고급 유지 관리 기능이 장착되어 있어 오류를 빠르고 정확하게 감지하고 진단할 수 있습니다. 전반적으로, ULTRATECH 1500 (ULTRATECH 1500) 은 강력하고 고급 웨이퍼 스테퍼로, 놀라운 속도와 정확도로 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 제조업체가 매우 정밀하고 복잡한 집적 회로를 생산할 수 있도록 도와줍니다. 초고해상도 (optical machine), 자동 정지 및 노출 제어 (auto-stop and exposure control), 고급 수리 및 유지 관리 절차, 자체 진단 시스템 등의 다양한 기능이 제공되므로 웨이퍼 생산의 효율성을 향상시킬 수 있습니다.