판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9269962

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ULTRATECH 1500
판매
ID: 9269962
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6".
ULTRATECH 1500 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 반도체 웨이퍼에서 고정밀 부품을 제작하도록 설계된 고급 반도체 석판화 장비입니다. 이 최첨단 장비는 고급 광학 프로젝션과 고해상도 마스킹 시스템 (High Resolution Masking System) 의 조합을 사용하여 뛰어난 정확도와 높은 처리량을 지닌 복잡한 패턴을 구현합니다. 1500 은 4 개의 고해상도 이미징 시스템을 활용하여 다양한 애플리케이션 요구 사항에 대해 다양한 투사 목표를 수립합니다. 이 장치는 직경이 최대 12 인치 인 크기의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 선폭을 0.5 미크론으로 줄여 극도로 정확합니다. 또한, ULTRATECH 1500은 wafer-to-wafer 등록을 위해 설계되었으며, 이를 통해 실행 가능한 등록 오류를 방지할 수 있습니다. 1500 에는 회전 및 높이 조정을 위해 x, y 스테이지 및 2 개의 모터가 장착 된 대용량 자동 노출 머신이 있습니다. 따라서 웨이퍼 이동을 완전히 자동화하여 처리량을 높이고, 노출 시간을 단축할 수 있습니다. 또한, ULTRATECH 1500 (ULTRATECH 1500) 은 표본 단계 정확도를위한 고급 교정 및 테스트 도구를 가지고 있으므로 반도체 웨이퍼의 불규칙성을 빠르게 조정할 수 있습니다. 1500은 다중 레이어, 양수 및 음수 다이, 이진 파일 형식, 밀도 기반 인쇄, 미리 정의된 모양 등 다양한 이미지 형식을 처리할 수 있습니다. 또한 미러, 크기 조절, 배열, 광학 확대/축소, 이미지 회전 등 다양한 이미지 조작 기능을 사용할 수 있습니다. ULTRATECH 1500의 노출 자산에는 8 채널 피치 컨트롤, 고출력 광원, 낮은 레이어 조정 수행을위한 통합 트림 (trim) 모듈이 장착되어 있습니다. 또한 단일/다중 노출 모드에 대해 다양한 노출 시간과 단계를 지원합니다. 전체적으로, 1500은 뛰어난 정밀도와 안정성을 지닌 고품질의 반도체 부품을 만드는 안정적이고 정확한 도구입니다. 이 모델의 고급 기능 (Advanced Features) 과 처리량 (High Throughput) 은 다양한 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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