판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9244762

ULTRATECH 1500은 ULTRATECH, Inc.에서 개발 한 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 최대 4 개의 포토 마스크 (photomask) 의 동시 노출을 수행 할 수있는 완전 자동화 된 기계이며, 최소 노출 크기는 최대 12mm입니다. 이 기능은 1500 년에 가장 정밀하고 정확하게 웨이퍼에 복잡한 패턴을 만들 수있는 기능을 제공합니다. ULTRATECH 1500에는 일련의 운동학적 무기가 포함되어 있으며, 이는 노출 과정을 추진하는 데 사용됩니다. 기계의 운동학적 팔 (kinematic arms) 은 웨이퍼 (wafer) 의 상단 서피스에 노출 위치를 생성하고 좌표축을 중심으로 원하는 노출을 회전시킵니다. 이 설계 덕택에, 노출은 어느 방향으로든 조정될 수 있으며, 다른 시스템과의 원활한 통합이 가능합니다. 그 에 더하여, 1500 개 의 고급 "레이저 렌즈 '장비 는 더 이상 노출 시간 이 없어도, 조그마 한 부품 을 노출 시킬 수 있게 해 준다. 이 시스템은 또한 뛰어난 해상도와 명암비를 제공하며, 추가 조정 또는 재보정 (recalibration) 이 필요하지 않습니다. 일관된 노출 품질을 보장하기 위해 ULTRATECH 1500은 고품질 열 컨트롤러를 사용합니다. 이 기능은 노출 변화를 최소화하여 최적의 성능을 달성하는 데 도움이됩니다. 이 기계에는 2 개의 전동 여행 단계와 효율적인 장치 작동을 용이하게하는 마스크/레티클 처리 장치 (mask/reticle handling device) 도 포함되어 있습니다. 안전성을 위해 1500 대에는 비상 정지 장치, 연동기 (Interlock Machine) 및 휴먼 머신 인터페이스 (Human Machine Interface) 가 장착되어 있습니다. 안전 기능 (Safety Features) 을 통해 운영자는 예상치 못한 오작동 발생 시 신속하게 공구 작업을 중지할 수 있습니다. ULTRATECH 1500은 다양한 정교한 기능으로, 웨이퍼 처리를 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 자산의 자동 운동학적 무기, 레이저 렌즈 모델, 고정밀 열 컨트롤러 (high-precision thermal controller) 는 일관되고 안정적인 노출 품질을 촉진하여 고객이 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 안전한 안전 기능을 제공하여 사용자 안전 및 장비 신뢰성을 보장합니다.