판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9244742

ULTRATECH 1500 (ULTRATECH 1500) 은 안정적이고 정확한 성능을 제공하는 독자적으로 설계된 기계 시스템을 갖춘 완전 밀폐형 웨이퍼 스테핑 장비입니다. 이 장치는 1 "(25mm) ~ 4" (100mm) 크기의 기질을 처리 할 수 있으며 산소, 수소 및 질소를 포함한 다양한 공정 기체를 실행하도록 설계되었습니다. 혁신적인 디자인은 독특한 2 차 (sub-second) 포지셔닝 정확성을 갖추고 있어 기판에 칩을 쉽고 일관되게 정렬할 수 있습니다. 기계의 주요 구성 요소에는 다중 축 스캐닝 플랫폼과 교류 모터 및 직접 구동 (기어 없음) 선형 액츄에이터로 구성된 선형 드라이브 하위 시스템이 포함됩니다. 이 배열은 최고 속도 (600mm/s) 와 낮은 가속도 (4G) 로 부드럽고 정확하며 빠른 작동을 가능하게합니다. 모든 축에서 닫힌 루프 인코더 피드백 (closed loop encoder feedback) 을 통해 공구의 정확도가 더욱 향상되어 에셋이 움직임을 정확하게 복제할 수 있습니다. 이 플랫폼은 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 에 의해 구동되며, 기판에 장치를 정확하게 자동으로 정렬하고, 레시피의 효율적인 실행을 보장합니다. 이 모델은 자동화된 웨이퍼 로딩 및 처리를 위한 자동화 패키지 (옵션) 를 갖추고 있으므로 운영자가 수동으로 웨이퍼를 로드할 필요가 없습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 장비로서, 1500은 또한 현장 가스 공급 시스템을 통합 할 수있는 옵션을 제공하며, 즉석 가스 제거, 환기 및 가압, 고장 분석 목적으로 내부 레이저 폐지를 허용합니다. 또한, 이 장치에는 통합, 고급 RTIP (Real Time Imaging Processor) 가 장착되어 있어 오프라인 검사 및 스테이징 분석이 가능합니다. ULTRATECH 1500은 다양한 웨이퍼 처리 요구 사항을 충족하는 이상적인 기계입니다. 최첨단 디자인과 고급 기능은 안정적인 처리량과 고품질 제품을 보장합니다. 이 도구는 연구, 소규모 생산, 또는 프로토 타입에 적합하며, 경쟁적인 비용으로 뛰어난 품질을 제공합니다.