판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9244164
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울트라 테크 1500 (ULTRATECH 1500) 은 반도체 칩 및 기타 복잡한 전자 부품 생산을 위해 높은 정확도의 사진 해설을 제공하기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 고급 장비는 레이저 구동 홍채 (laser-powered iris) 를 특징으로하여 다양한 기판에서 매우 작은 회로의 가장 정확한 정렬 및 이미징을 제공합니다. 독보적인 기능으로 "웨이퍼 '를 극도로 정확하게 처리하고" 웨이퍼' 를 노출시키는 데 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 1500은 5 축 스테이지와 최첨단 광학 장비를 갖추고 있으며 정확한 노출을 위해 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이 장비는 최소한의 잘못된 비아 (vias) 와 최소한의 수익률 손실로 단일 웨이퍼에 여러 번 노출됩니다. 또한 ULTRATECH 1500은 ± 0.25äm의 정확도로 다양한 회로 크기와 패턴을 만들 수 있습니다. 1500은 또한 10 개의 다른 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있으며, 이는 다재다능하고 매우 효율적입니다. 또한 초정밀 패턴 노출을 위해 최대 500 가지의 소스 패턴을 미리 프로그래밍 할 수있는 고급 컴퓨터 제어 소프트웨어 (Advanced Computer Control Software) 가 장착되어 있습니다. 또한 ULTRATECH 1500은 지능형 웨이퍼 ID 인식 장치와 통합되어 빠르고 정확한 웨이퍼 식별이 가능합니다. 1500에는 0.4hm까지 라인을 만들 수있는 최첨단 이미징 기능이 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 독특한 레이저 포커스 스팟 컨트롤 (focus-spot control) 을 특징으로하여 노출 중 포커스를 절대 정확도로 조정할 수 있습니다. 울트라텍 1500 (ULTRATECH 1500) 은 또한 레이저 전력을 사전 프로그래밍된 수준에서 유지하는 자동 레이저 전원 제어 장치 (Automatic Laser Power Control Machine) 를 사용하여 여러 웨이퍼를 처리 할 때에도 항상 노출이 정확합니다. 결론적으로, 1500은 높은 정확도와 최소 수익률 손실을 가진 복잡한, 작은 회로 패턴 처리에 이상적인 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 입니다. 5 축 스테이지, 레이저 전원 제어, 지능형 웨이퍼 ID 인식, 조절 가능한 포커스 스팟 제어 등의 독특한 기능은 매우 정확하고 반복 가능한 사진 해설을 보장합니다.
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