판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9195910

ULTRATECH 1500은 반도체 제조에서 리소그래피 응용 분야를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 직경 200 밀리미터 (wafer) 의 웨이퍼에 고해상도 (high-resolution) 패턴을 만들어 더 큰 집적회로를 생산할 수 있습니다. 단지 3 미크론의 단계 크기로, 1500은 매우 정밀하고 정확하게 복잡한 패턴과 기하학을 생성할 수 있으며, 이를 통해 나노미터 스케일 (nanometer-scale) 기능을 생산할 수 있습니다. 또한, 시스템은 최대 5: 1의 감소 속도를 제공하여 사용자에게 1 미크론 (micron) 미만의 기능으로 매우 작은 패턴을 생산할 수있는 기능을 제공합니다. ULTRATECH 1500은 10:1 광학 줌 (zoom) 장치를 사용하여 최고의 노출 정확도와 정밀도를 달성합니다. 이것은 레이저 간섭법 (Laser interferometry) 과 결합하여 자유도 6도 모두에서 컴포넌트 위치를 감지합니다. 즉, 모든 피쳐는 웨이퍼에 올바르게 정렬되고 배치 될 수 있습니다. 이 기계는 또한 이중 자동 초점 도구를 사용하여 정렬 및 위치 지정 (positioning) 의 효율성을 향상시킵니다. 1500 은 고급 디지털 전자제품 (digital electronics) 및 고급 소프트웨어 솔루션을 사용하므로 효율성이 높은 맞춤형 (customed) 노출 프로그램을 만들 수 있습니다. 이러한 프로그램은 사용자가 각 웨이퍼의 매개 변수 (예: 노출 힘, 속도, 초점) 를 정확하게 제어할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한, 사용자는 배치 처리 (batch processing) 기능을 제공하여 시간과 비용을 절감할 수 있습니다. ULTRATECH 1500 (ULTRATECH 1500) 은 신뢰성이 높고 안정적이며, 시스템 수명에 대한 일관된 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 모든 자산의 구성요소 및 기능은 가동 시간 (uptime) 및 무중단 업무 운영을 위해 구축됩니다. 또한, 모델은 모든 사이클에 대해 자체 진단 (self-diagnostics) 을 수행하여 노출 전에 가능한 문제를 감지 할 수 있습니다. 마지막으로 1500은 효율적인 운영 및 유지 관리 용이성을 위해 맞춤형으로 설계되었습니다. 이 장비는 로봇 웨이퍼 처리 시스템 (Robotic Wafer Handling System) 을 통합하여 로드 및 언로드를 단순화하며, 자동화된 환경 제어는 장치를 최적의 성능 매개변수 내에 유지하도록 합니다. 또한, 이 기계는 기술자에게 향후 유지 보수 요구를 알려주는 서비스 표시를 제공합니다.