판매용 중고 ULTRATECH 1500 #9188727

ULTRATECH 1500은 뛰어난 이미징 성능과 생산성을 제공하는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 자동 머신은 반도체 웨이퍼의 IC (integrated circuit) 장치 제작을 위해 설계되었습니다. 이미지 스테핑 및 중앙집중을 정확하게 제어 할 수있는 통합 모터 드라이브 (motor-drive) 장비를 갖추고 있습니다. 1500은 6 ~ 12 인치의 다양한 웨이퍼 크기를 지원할 수 있습니다. 이 제품은 낮은 수준, 높은 수준의 이미지 성능 모두에서 뛰어난 역방향 이미지 (reverse image fidelity) 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 활용도가 높은 첨단 기술 덕분에, ULTRATECH 1500은 처리 속도를 높이고 광학 성능을 향상시킬 수 있습니다. 1500은 이미징 스테이션과 High-Precision Stage의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 이미징 스테이션 (Imaging Station) 에는 연속파 레이저 다이오드, 고출력 빔 확장기, 높은 NA 프로젝션 렌즈 및 자동 초점 장치가 포함 된 소스 및 프로젝션 시스템이 있습니다. 이 이미징 머신은 20 nm의 뛰어난 공간 해상도를 제공 할 수 있습니다. 고정밀 단계 (High-Precision Stage) 는 적절한 이미지 정렬 및 적용 범위를 보장하기 위해 웨이퍼의 위치를 정확하게 지정합니다. ULTRATECH 1500 (ULTRATECH 1500) 은 또한 웨이퍼의 정확한 배치를위한 고급 CCD 카메라와 웨이퍼 스테이지의 정확하고 반복 가능한 동작을 허용하는 2 축 동작 제어 도구를 갖추고 있습니다. 프로세스 안정성 및 반복성을 더욱 향상시키기 위해 1500 은 사용자가 노출 패턴, 이미지 시퀀스, 이미지 매개변수 등을 프로그래밍할 수 있는 통합 컴퓨터 자산 (소프트웨어 포함) 을 제공합니다. 이미징 모델에는 웨이퍼 검사 및 분석을위한 도량형 장비도 내장되어 있습니다. ULTRATECH 1500은 뛰어난 성능을 제공하며 IC 제조업체의 높은 수요를 충족하도록 설계되었습니다. 견고한 설계, 높은 처리량, 뛰어난 화질, 고급 반도체 소자 제조 공정에 적합합니다.